山东
中德生态园新添半导体先进装备研发制造中心项目（一期），总投资7亿元，位于红石崖街道办事处中德生态园山王河路南、万松山路西，工期2024年8月~2025年8月。
2024年中国（山东）自由贸易试验区青岛片区管理委员会、青岛中德生态园管理委员会、青岛城投产业园投资发展集团有限公司、青岛四方思锐智能技术有限公司签订“青岛市集成电路产业园·先进装备园项目暨思锐智能半导体先进装备研发制造中心合作协议”。
由青岛城投产业园投资发展有限公司设立的青岛芯联投资有限公司作为投资建设主体，负责土地购置、厂房工程、公共设施建设等工作，将建成的毛坯生产厂房以及精装的办公楼等交付给青岛四方思锐智能技术有限公司，青岛四方思锐智能技术有限公司购置设备并采用租赁方式获得使用权。
半导体先进装备研发制造中心项目总投资120183万元，占地面积62913㎡，分两期进行建设。
一期总投资70000万元，总建筑面积52636㎡，一期工程建设内容包括1#-A技术测试车间及附属办公1座，2#员工宿舍1座，3#动力中心1座，4#-A装备制造中心车间1座，5#厂房（设危化品库、危废间及剧毒钢瓶间）1座等。
项目建成后，可年产离子注入机（IMP）59台（套）、原子层沉积镀膜设备（ALD）113台（套），以及进行IMP设备、ALD设备研发实验。项目预计2025年8月建成投产。
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