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打印金属纳米级特征仍然具有挑战性,但对于制造电子设备尤其重要。在现有技术中,复杂的操作和材料参数极大地限制了打印分辨率、材料开发和实时控制。或者,气溶胶和离子协同打印纳米级金属,但离子不稳定,从而使打印失去控制特征尺寸的能力。
这里,利用电偏置平行平面来配置电场,以将气溶胶纳米粒子可编程和并行打印成大面积(≈mm 2)阵列中的高纯度(> 98.5 wt.%)纳米级特征。
通过对三个水平平行平面施加不同的电势,中间平面包含周期性圆形穿孔,场被配置成两端尺寸可控的重复“漏斗”。然后,带电纳米颗粒受到与场正交的气流的作用,将它们组装成 3D 纳米结构。“漏斗”尺寸是可预测的并用于控制特征尺寸。印刷的纳米柱直径从 67 纳米调整到 743 纳米,纵横比高达 25,并表现出优异的机械和电气性能。
金属纳米级特征的可编程和并行纳米打印为加速下一代高频超大规模集成电子设备的开发提供了一种使能技术。
图片来源:Advanced Functional Materials
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