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砷化氢属于剧毒气体,其充装单位需要办理移动式压力容器/气瓶充装许可证。
本文适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中,砷化氢用于播掺杂以及化合物半导体外延。
1、技术要求
砷化氢的质量应符合表1的要求。
2、包装、标志及贮运
2.1砷化氢的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定。
2.2包装砷化氢的气瓶应符合GB 5099、GB/T 11640的规定。
2.3推荐使用进行内表面处理的气瓶。瓶阀推荐使用DISS632。
2.4应防止瓶口被污染和泄漏。
2.5砷化氢的充装应符合GB 14193的相关规定。
2.6气瓶颜色标志应符合GB 7144的规定。
2.7运输时,砷化氢气瓶上应附有GB190中指定的标志。
2.8包装容器上应标明“电子砷化氢”字样。
2.9瓶装砷化氢的最大充装量按式(2)计算:
式中:
m——气瓶内砷化氢的质量,单位为千克(kg);
V——气瓶标明的内容积,单位为升(L);
Ft——砷化氢的充装系数,1.16 kg/L;
2.10砷化氢的充装量按实际称量的质量计。
2.11砷化氢的保存期限按GB/T 26571规定执行。
2.12砷化氢出厂时应附有质量合格证,其内容至少应包括:
——产品名称,生产厂名称;
——生产日期或批号,充装质量(kg);
——本标准号及技术指标,检验员号。
2.13砷化氢产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内,严禁暴晒,远离热源。
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