二十余年厚积薄发 辽宁跻身半导体装备产业第一阵营

芯源微、富创精密/供图 周靖宇/制图

证券时报记者 孙宪超

在东北老工业基地辽宁，以半导体为主业的辽籍上市公司已有5家，若再加上新三板公司中科仪、现有业务囊括半导体装备业务的新松机器人、拟上市企业和研科技等，辽籍半导体产业集群已经初具规模。

近日，证券时报记者实地采访时了解到，借助资本市场的力量，辽宁半导体企业发展速度得到进一步提升，辽宁有望成为国内半导体装备产业的“第三极”。预计到2024年，辽宁沈阳的半导体装备产业总产值将会超过100亿元。

迎来收获期

据辽宁省半导体行业协会秘书长、富创精密董事长兼总经理郑广文介绍，早在本世纪初期，辽宁省相关政府部门、学界人士和企业家通过反复讨论达成共识，将半导体装备产业确定为发展方向，经过20多年的不懈努力，厚积薄发，如今终于迎来收获期。

程龙目前担任新松机器人半导体装备业务负责人，在新松机器人内部，程龙和他的半导体装备团队被寄予厚望。

“目前，公司半导体设备产业化应用已初具规模，产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品，以及设备前端模块（EFEM）、真空传输平台，主要应用于薄膜、离子注入等工艺环节及领域，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链，服务的下游行业主要是半导体工艺设备厂商。”程龙向证券时报记者表示。新松机器人的全资子公司沈阳新松半导体设备有限公司主营为半导体装备业务，以子公司经营平台的形式独立发展，意味着该公司将集中人才、资金等优质资源，为半导体子公司赋能，加速使其发展成为公司支柱业务之一。

在辽宁省上市公司当中，芯源微、神工股份、拓荆科技、富创精密、连城数控等5家公司的主业均是与半导体相关。其中，芯源微是国内唯一能够提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，同时，其在前道物理清洗、后道先进封装及化合物半导体等领域也都保持着国内细分市场的龙头地位；拓荆科技是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD、SACVD、HDPCVD设备厂商，也是国内领先的ALD设备厂商；富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业；神工股份主要生产半导体用单晶硅材料等；连城数控是光伏及半导体行业所需晶体材料生长、加工设备及核心技术等多方面支持的集成服务商。另外，新三板挂牌企业中科仪是国内唯一在集成电路领域实现批量应用的干式真空泵企业；拟上市公司和研科技主要生产半导体用划片设备等。

郑广文说，辽宁省半导体装备产业目前已处于国内第一阵营，在该领域的优势十分明显。

“近20余年来，辽宁推动产业自主发展，集聚和培育出了一批优势骨干企业，如今这些半导体企业终于迎来厚积薄发。继上海及周边地区、京津冀地区之后，辽宁省已经成为国内半导体装备产业‘第三极’。”程龙介绍。

值得注意的是，辽宁省的半导体企业之间有着较为紧密的联系，郑广文系芯源微董事，郑广文旗下的沈阳先进制造技术产业有限公司是芯源微第一大股东，中科仪系拓荆科技的股东。

“辽宁省的半导体产业在近年来发展速度很快，一个重要原因是这些企业抱团发展，而非各自为战。”郑广文认为。

解析产业链

辽宁省拥有相对完整的半导体装备产业链。据辽宁省社科院产业经济研究所副所长姜瑞春介绍，半导体产业链上游包括零部件、材料和控制单元，目前辽宁拥有富创精密、新松机器人、中科仪、沈阳硅基、中科博微等上游企业，能够供应反应腔、真空干泵、机械手、控制软件、SOI材料等零部件和控制系统。

“辽宁省半导体产业在精密零部件领域完成了精密切削、精密表面处理、特种焊接技术研发，特种表面处理生产线国际一流、亚洲第一，核心技术打破了国外对中国半导体产业的技术封锁。真空获得与应用技术、晶体生长关键技术达到国际先进水平。真空密封技术攻克了技术难关，达到国内领先水平。”姜瑞春表示。

据介绍，半导体产业链中游为整机设备制造商，目前辽宁省拥有芯源微、拓荆科技、仪表院等企业，可以进行薄膜设备、涂胶显影机、划片机等半导体整机制造和系统集成。半导体产业链下游主要应用于集成电路制造、封测企业，目前辽宁从事集成电路制造的企业主要是中电科第47所和仪表院等研究部门。

证券时报记者在采访中获悉，“十三五”期间，辽宁省沈阳市的IC装备产业实现连续五年稳定快速增长，年均增长率达到10.1%，已经形成了“一项控制系统技术、八类重要整机装备、一批关键单元部件和一个精密零部件支撑平台”的配套体系和批量生产能力。

在辽宁省相关上市公司当中，富创精密目前已经成为全球为数不多的能够为7纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商。芯源微前道涂胶显影机与各厂家主要技术节点的国际主流光刻机都能联机量产，特别是28纳米浸没式涂胶显影机已经实现了国内28纳米及以上制程工艺的全覆盖。PECVD 设备是拓荆科技的核心产品，也是芯片制造的核心设备之一，拓荆科技已经形成了覆盖全系列 PECVD 薄膜材料的设备。新松机器人是国内领先的真空机械手及集束型设备的生产制造商。连城数控第三代半导体碳化硅长晶设备已形成批量订单，磨床、滚圆机等晶体加工设备已经在客户端形成批量订单。

辽宁省半导体企业发展势头很快。2022年，拓荆科技营收同比增长125.02%、净利润同比增长438.09%；富创精密营收和净利分别同比增长83.18%和94.19%；芯源微营收和净利分别同比增长67.12%和158.77%。相关上市公司的业务增速很快，不过体量仍然不是很大。2022年，芯源微、拓荆科技、富创精密分别实现营业收入13.85亿元、17.06亿元、15.44亿元。

“辽宁省的半导体装备企业主要集中在沈阳市，芯源微、拓荆科技、富创精密、中科仪、和研科技和新松机器人等素有‘六小虎’之称。”郑广文介绍，预计到2024年，辽宁省沈阳市半导体装备产业的总产值将会超过100亿元。

据了解，截至2022年12月31日，拓荆科技在手销售订单金额为46亿元（不含Demo订单），2022年签订销售订单金额为43亿元（不含Demo订单）。截至2023年3月末，连城数控设备类产品在手订单金额为72.6亿元左右。2022年，芯源微新签订单22亿元。

借力资本市场

科创板的推出、北交所的成立，为辽宁省半导体企业实现上市目标提供了重要的发展契机。以芯源微为例，2019年上市时的年收入为2.1亿元，2022年已经增长至13.8亿元，年复合增长率达到87.3%。芯源微在上市之后实施了股权激励政策，已经有共计139人次的核心技术人员和管理骨干得到股权激励。面对半导体市场发展过热和挖角跳槽，芯源微在团队稳定和潜力研发方面具有高度的稳定性，在稳定住自己团队的同时，还吸引了国内外高端人才的加盟，得以持续提升研发能力、开拓国际视野。

连城数控相关负责人告诉证券时报记者，公司在北交所上市给公司带来明显的引领带动效应，主要体现在公司资源获取和整合能力加强，与产业链上下游、金融资本、科研院所的协同合作更加紧密；扩展了公司融资途径，融资成本降低；公众形象和品牌知名度提高，公信力获得社会广泛认可；有效实现了核心员工长期激励，对人才尤其是高端人才吸引力增强；内部管理流程不断优化，公司治理结构不断完善。

拓荆科技董事会秘书赵曦说，公司IPO募集资金22亿元，为公司的高质量发展提供了有力的资金支持。公司上市后，持续加大产品研发投入的强度，提升技术研发水平，产品结构不断优化，产品竞争力持续增强，业务规模维持高增长趋势。

有业内人士指出，随着A股市场进入全面注册制时代，辽宁省应该进一步发挥资本市场的资源配置功能，促进技术创新和转化就用，推动辽宁省壮大优质半导体企业群体。

姜瑞春表示，辽宁省半导体上市企业目前已经开始发挥巨大的集聚带动作用，这些企业吸引了一大批加工配套和上下游关联企业，进一步提高了产业集聚度、扩大了产业规模、拉长了产业链条，从而加速了地区产业集群化发展，形成不同的产业生态圈，为辽宁省经济社会发展带来巨大的发展新动能。

“未来辽宁省应该不断把握资本市场改革节奏，充分激发辽宁省在智能装备制造、半导体芯片制造设备领域的产业底蕴和科技优势，把储备上市资源、推动企业上市与辽宁省创新驱动发展、‘数字辽宁、智造强省’建设等重大战略部署统筹谋划，推动辽宁半导体板块在资本市场上快速扩容。”姜瑞春认为。

产业优势何在

在很多人的印象当中，辽宁省作为老工业基地，支柱产业以重工业为主，似乎很难将其与半导体这类战略新兴产业联系在一起。

谈及辽宁省为何能够发展起半导体产业时，姜瑞春说，辽宁省工业基础雄厚，具备能够生产大国重器、保障国防安全的特色产业优势，这也成为该省发展半导体产业的重要优势。当前辽宁省产业门类完整性、工业体系完备性仍居全国领先水平，在国民经济行业的41个工业大类中拥有40个（缺少其他采矿业），207个工业中类中拥有197个。辽宁省在新材料、精细化工、高端装备制造、半导体芯片制造设备和工业基础软件等领域具备产业底蕴和科技优势，具备在这些领域解决一批重大难题的基础和优势，在提升我国产业链供应链稳定性和竞争力上发挥重要作用。

“辽宁省拥有大批高素质的工程师人才和优秀的产业工人，具有浓厚的工业文化，具备发展半导体等精密装备产业集群的深厚根基。”郑广文认为。

赵曦说，辽宁省拥有多个高等院校，为半导体产业的快速发展提供了重要的人才资源。

据了解，辽宁省作为科教大省，科教资源密集，有高校100多所，其中“双一流”高校4所。辽宁科研机构众多，共有1652家，包括中科院所属的大连化学物理研究所、金属研究所、沈阳应用生态研究所、沈阳自动化研究所等6家，这些都为辽宁省发展半导体产业提供了重要的“智力”支持，辽宁上市半导体企业均与省内科研院所和大学建立了密切的产学研合作。

值得一提的是，在一些辽宁省半导体企业身上可以看到“中科院基因”。例如，芯源微是由中科院沈阳自动化研究所发起创立的国家级高新技术企业; 新松机器人是中国科学院沈阳自动化研究所控股的创业板上市公司；中科仪的全称是中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，持股35.21%的大股东国科科仪控股有限公司系中国科学院控股有限公司 100%控股企业，后者由中国科学院100%持股;富创精密第一大股东是沈阳先进制造技术产业有限公司，中国科学院沈阳自动化研究所曾是后者的主要发起股东，于2013年退出。

“像中科院这种科研院所对于地方相关产业的带动作用非常明显。”程龙表示。

短板有待补齐

虽然近年来辽宁省的半导体产业呈现出快速发展的态势，但是同国内一些经济发达区域相比，还存在一些短板有待补齐。

据姜瑞春介绍，辽宁省发展半导体产业，首先面临的就是资金瓶颈问题。目前，辽宁半导体产业正处于发展壮大的关键期，迫切需要金融资本快速跟进。金融机构针对半导体企业政策创新不足，使得融资难、融资贵等问题造成企业产业化速度缓慢。

其次是半导体市场竞争压力不断加大。国产设备整体水平落后于国外，在激烈的市场竞争中不占优势，国产设备进入主流产线压力较大。

最后是专业人才短缺。掌握核心技术的高端人才是半导体产业发展的关键，目前辽宁乃至全国半导体产业领域均存在人才缺口，而东北地区限于经济发展水平对人才吸引力有限。

“解决现阶段辽宁省半导体产业发展过程中面临的问题和不足，需要相关政府部门和金融机构等进行联动。”姜瑞春说，在解决资金瓶颈方面，应该加强专项资金配套、科研攻关、技改贷款贴息、人才引进等支持力度。通过加强与金融机构互信合作，推进银行、保险、担保等各类金融机构对重点项目建设的支持力度，培育优势企业上市及发债融资。对有基础、有特色、有优势的重点领域试行专项支持政策。

面对日益加大的市场竞争，辽宁省应该以半导体整机装备、零部件、材料为重点，打造国家半导体装备制造产业基地。以推动产业链建设为主线，做大做强一批整机装备和关键零部件制造企业。改变国产半导体整机装备和零部件基础能力薄弱和关键技术受制于人的现状，引领辽宁半导体装备制造业向高端化转型升级。

“为了解决人才短缺问题，辽宁省应该以半导体装备为重点，放宽高级人才认定标准，加大高端人才奖励力度。”姜瑞春说。

一位辽宁省当地人士表示，长三角地区、京津冀地区都有具备全国影响力的晶圆制造和封装企业，能够与产业链上游的设备、设计企业密切互动，有利于设备和材料企业的快速验证和技术迭代，形成产业链闭环和良性发展。目前辽宁省内的英特尔/海力士对产业链和供应链的拉动力度较弱，需要政府层面进一步加大政策倾斜和招商力度，吸引有影响力的晶圆和封装企业落地，这事关辽宁省半导体产业的长远发展。

“与上述区域相比，辽宁的产业发展专项资金和政府产业引导基金相对较少，在重大应用示范、重大关键技术研发、重大支撑体系建设等方面上扶持力度还显不足。”这位人士说，近年来，辽宁省半导体产业人才流失严重，长期看必然会损害辽宁省发展半导体产业的人才基础，需要引起相关政府部门的高度重视。