卓芯杰研发193nmArF光刻胶项目落户太仓市：有望突破半导体材料“卡脖子”技术

来源：太仓市双创综合服务平台、CINNO综合整理

近日，卓芯杰（苏州）半导体材料科技有限公司国产光刻胶项目落户苏州太仓。太仓科技消息显示，该项目由新加坡南洋理工大学刘颖果博士团队领衔，旨在突破半导体材料“卡脖子”技术，研发193nm ArF光刻胶产品。

据介绍，该项目在主体树脂的结构设计、单体的合成工艺、主体树脂的合成工艺、光致产酸剂的评价、配方研究等多个方面论证了193nm光刻胶的研制工艺，研制出的样品可在7-14nm的光刻机上使用。机构分析指出，由于高端光刻胶的保质期很短（通常只有6个月左右甚至更短），一旦遇到进口“限供”甚至“断供”，势必面临国内芯片企业短期内全面停产的严重不利局面。随着关键原材料国产化进程提速，国内厂商有望实现份额提升。

据了解，光刻胶作为半导体、平板显示及PCB行业制造环节的关键材料，是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分构成的对光敏感的混合液体，而且光刻胶的质量对光刻精度至关重要，是光刻工艺最重要的耗材。

据业内人士介绍，光刻胶客户壁垒极高，多数用户不愿意导入新供应商，因为过程很繁琐，耗时又长。光刻胶厂商购买原材料后需要通过调配进行光刻验证，得到大致实验结果后再进行微调，不断重复试验过程以达到客户要求的性能数据，并适配客户的产线。为了完成验证，光刻胶厂商要不断给客户送样，并听取问题反馈，然后改进相关技术，这样的过程会反复进行，多的会超过50次，完成整个客户导入过程需要2—3年时间。因此，光刻胶企业与客户之间的黏性很高，客户并不愿意花费时间导入其他供应商。

“为了保持光刻胶质量和效果稳定，厂商通过认证成为长期供应商后，客户不会轻易更换。当前国内光刻胶市场近9成为海外厂商占据，国内厂商想要实现市场突破存在一定难度。”蒋高振指出。

不过，近年来逆全球化趋势加快，半导体全球化分工遭遇挑战，为保证上游供应链安全可控，国内厂商及部分海外厂商开始尝试使用国 产光刻胶及光刻胶原料进行生产测试及替代。“这一变化有利于国产厂商加速客户导入及产品放量。”蒋高振说。

尽管国产光刻胶距离挑起大梁还有长路要走，但国产光刻胶企业们已经走在了路上。

国产光刻胶实现突破

近日，晶瑞电材在投资者互动平台表示，公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了0.25-0.13μm的技术要求，已通过部分重要客户测试，KrF高端光刻胶部分品种已量产。

晶瑞电材是国内最早从事光刻胶生产的企业之一，目前已经取得合肥长鑫、士兰微、扬杰科技、福顺微电子、中芯国际等国内企业的供货订单。

并且早在两年前，从南大光电公告就曾披露自主研发的ArF光刻胶产品近日成功通过客户使用认证，可用于90nm-14nm甚至7nm技术节点，且ArF光刻胶生产线已建成，小批量的7nmArF光刻胶也投产。

未来几年，随着中芯国际、长江存储、长鑫存储等晶圆厂进入产能扩张期，高端光刻胶的国产化替代迎来重要窗口,打破美国的高端半导体垄断近在咫尺。

全球显示及半导体光刻胶市场分析报告

第一章：显示面板正型光刻胶市场分析

一、 显示面板光刻胶材料介绍

1.显示面板光刻胶材料分类介绍

2.液晶显示面板用正型光刻胶介绍

3.液晶显示面板用负型光刻胶介绍

4.OLED显示面板用正型光刻胶介绍

二、 2016-2025全球显示面板产能状况及趋势

1.2016-2025全球总体显示面板产能状况及预测

2.2016-2025全球TFT-LCD面板产能占比趋势预测

3.2016-2025全球AMOLED面板产能占比趋势预测

三、 2016-2025全球显示面板用正型光刻胶市场现状及趋势

1.2016-2025全球显示面板正型光刻胶市场容量及预测

2.2016-2025全球显示面板正型光刻胶市场规模及预测

四、 2016-2025全球显示面板用正型光刻胶市场现状及趋势

1.2016-2025中国显示面板产能状况及预测

2.2016-2025中国显示面板正型光刻胶市场容量及预测

3.2016-2025中国显示面板正型光刻胶市场规模及预测

4.2020年全球主要显示面板正型光刻胶材料厂商名录

5.2020年全球显示面板正型光刻胶市场份额分析

第二章：半导体光刻胶市场分析
一、 半导体光刻胶材料分类介绍

二、 2016-2025全球晶圆产能状况及预测

三、 2016-2025全球半导体光刻胶市场现状及趋势

1.2016-2025全球半导体正型光刻胶市场容量及预测

2.2016-2025全球半导体正型光刻胶市场规模及预测

3.2020年全球主要半导体光刻胶材料厂商名录

4.2020年主要半导体G/I线光刻胶材料厂商市场分析

5.2020年主要半导体KrF线光刻胶材料厂商市场分析

6.2020年主要半导体ArF/ArFi光刻胶材料厂商市场分析

第三章：正型光刻胶用光敏剂材料市场分析
一、 全球显示面板光刻胶用光敏剂市场现状及趋势

1.2016-2025全球显示面板光刻胶用光敏剂材料市场容量及预测

2.2016-2025全球显示面板光刻胶用光敏剂材料市场规模及预测

二、 中国显示面板光刻胶用光敏剂市场现状及趋势

1.2016-2025中国显示面板光刻胶用光敏剂市场容量及预测

2.2016-2025中国显示面板光刻胶用光敏剂市场规模及预测

三、全球半导体光刻胶用光敏剂市场现状及趋势

1. 2016-2025全球半导体光刻胶用光敏剂材料市场容量及预测

2. 2016-2025全球半导体光刻胶用光敏剂材料市场规模及预测

四、中国半导体光刻胶用光敏剂市场现状及趋势

1. 2016-2025中国半导体光刻胶用光敏剂材料市场容量及预测

2. 2016-2025中国半导体光刻胶用光敏剂材料市场规模及预测

五、全球光敏剂材料供应链及市场分析

1. 全球主要显示面板及半导体光刻胶用光敏剂材料厂商分析

2. 全球主要光刻胶与光敏剂材料厂商供应链关系分析

3. 2020年全球显示面板光刻胶用光敏剂材料市场分析

4. 2020年全球半导体光刻胶光敏剂材料市场分析

5.2020年光刻胶用光敏剂市场价格分析

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