山东
淄博2月14日讯 2月14日，全省高质量发展重大项目建设现场推进会与淄博市县域高质量发展重大项目集中开工仪式相继举行，高青县分会场设在了飞源气体六氟丁二烯项目。对接省城，努力推动高质量发展加力提速，2023年高青县一季度集中开工项目共19个，总投资106亿元，年度计划投资33亿元。
总投资25亿元的高青经济开发区医疗器械产业园基础设施建设项目（二期）、总投资28亿元的春汇智能物流（高青）有限公司高青县春汇综合智能仓配物流园项目、总投资2.8亿元的高青鲁青城市资产运营有限公司田横文化中心项目、总投资5亿元的高青珈泰商贸有限公司高青专精特新孵化产业园、总投资2.5亿元的“一柿青城”番茄育苗及种植示范项目……2023年高青一季度集中开工的19个项目，涵盖新材料、智能装备、新医药、现代高效农业、文化旅游等8个行业产业领域。其中，服务业项目5个，总投资52亿元；能源交通和基础设施项目4个，总投资4亿元。19个项目中，不乏山东飞源气体有限公司六氟丁二烯及附属设施项目等9个市级重大项目。
拥有生产六氟丁二烯成熟领先工艺的山东飞源气体有限公司，其总投资金额5亿元的六氟丁二烯及附属设施项目格外引人注目。该项目年度计划投资1亿元，在高青化工产业园内新建独立厂区，年产六氟丁二烯200吨。其中，一期占地38亩，年产六氟丁二烯30吨，建设一套生产装置，配套原料成品仓库、锌粉仓库、危废仓库、配电室、抗爆控制室等设施。据山东飞源气体有限公司董事长陈锦军介绍，该项目产品六氟丁二烯主要应用于高端芯片先进制程技术（100nm以下），3D存储和逻辑芯片的加工蚀刻，是目前所有蚀刻气体中唯一能够满足蚀刻要求且环境友好的蚀刻气体，与传统干法蚀刻气体相比，其在刻蚀速率、刻蚀均匀性、刻蚀选择比等方面，在电子材料生产上具有显著的竞争优势。
大众日报淄博融媒体中心记者 黄文姣 通讯员 王克军
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