1、氧化锆探头老化
大多数探头老化时，内阻将大于1kΩ，因此通过测量探头内阻即可判断探头老化程度。一般情况下，在安装点选择合理和中等恶劣烟气条件下，探头使用一年后才会明显老化。但是如果安装点烟温过高，或烟气中二氧化硫含量太大，都会加速探头老化，缩短探头寿命。
2、氧量跳动
氧量运行曲线是一条有毛刺的波动线。毛刺和波动分别是短周噪声和长周噪声，分别是由炉膛压力波动和风煤比波动引起的。因此毛刺和波动的大小决定于炉子的优劣，不是探头本身引起的，正常的毛刺约为±0.4%，如果毛刺近于±1%为小跳动，大于±1%为大跳动，探头老化是产生跳动的一个原因。
3、氧量显示不正常
引起氧量显示不正常的故障原因较多，主要有氧化锆元件老化或损坏，加热炉丝断，热电偶断，需要更换相应仪器部件或探头；另外连接导线接触不良或断开，也会引起氧量显示不正常，需要重新连接导线或更换导线。
例如：被测气体含氧量不为零时，氧量分析仪氧量测量显示为零。
①温度故障。温度低的原因：
1）热电偶损坏。可通过测量热电偶电阻判断。
2）加热器损坏。切断电源，测量加热器的电阻，同时测量加热器的引线与探头外壳间绝缘电阻应大于2MΩ。
3）热电偶或加热器引线接触不良。
②引线及转换器故障。
③探头内电极接触不良。
④探头内积聚大量可燃物。
4、氧量显示偏高
引起氧量显示偏高的原因较多，主要有炉墙漏风，安装法兰漏，探头的标准气体入口螺帽未拧紧，探头内部管组件与外部管连接处、内部管与氧化锆元件连接处不严密，氧化锆老化等。判别方法是：当用标准气体校准正常，而运行中氧量明显偏高者可判为漏气，即炉墙漏风，安装法兰漏，探头的标准气体入口螺帽未拧紧，或探头内部管组件与外部管连接处、内部管与氧化锆元件连接处不严密。
①炉墙漏风。如果探头附近的炉墙漏风，呈负压的烟道会将空气吸入，氧量分析仪周围的烟气中混有空气，此时测得的烟气中的氧量包含了空气中的氧气，所以显示值会偏高。应采取措施使探头附近的炉墙密封。
②安装法兰漏，一是烟道法兰焊接不密封，二是烟道法兰与探头法兰之间的密封垫片不完好，三是探头安装螺栓拧不紧。烟道内呈微负压，这种情况下空气会从安装法兰处漏入烟道中，此时测得的烟气中的含氧量包含了空气中的氧气，所以显示值会偏高。应采取措施密封安装。
③探头的标准气体入口螺帽未拧紧。如果探头的标准气体入口螺帽未拧紧，空气则从螺帽处漏入到氧化锆测量元件的测量端，此时空气、烟气混合，烟气中含氧量增加，使得氧量显示偏高。应将探头的标准气体入口螺帽拧紧。
④探头内部管组件与外部管连接处、内部管与氧化锆元件连接处不严密，主要有密封垫片破损或连接螺栓拧不紧两种情况。氧量分析仪在线测量时烟道内呈负压状态，外部呈正压，内外管连接处或内部管与氧化锆元件连接处不严密都会使空气中的氧通过缝隙进入到氧化锆测量元件的测量端，此时空气、烟气混合，烟气中含氧量增加，使得氧量分析仪测量值显示偏高。
5、堵灰
当探头安装在烟速过大的缩口处，不仅探头容易被磨损，而且容易堵灰。堵灰时，氧量变化十分缓慢。
6、温度不正常
引起温度不正常的原因很多，主要有热电偶断，加热炉丝断，供电有问题，超温保护回路动作，加热驱动信号失效，温度控制回路故障等。
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