单色科技星云系列飞秒激光加工系统：打造科研级微纳加工全场景验证平台

（原标题：单色科技星云系列飞秒激光加工系统：打造科研级微纳加工全场景验证平台）

在微纳光学、光子芯片、功能材料等前沿研发领域，实验室微纳加工需求正从“能否制备”，转向“多尺度灵活切换、多场景稳定验证、快速迭代样品”的综合能力比拼。光栅直写、光波导加工、周期性结构、超表面与材料研究等方向的突破，高度依赖高精度、高灵活度的微纳加工系统支撑。

单色科技星云系列ML-NEBULA飞秒激光纳米结构多维研发系统，正是面向科研实验室与企业研发中心打造的科研级飞秒激光直写加工系统，以复合光路、光场调制与多尺度加工能力，搭建起可调可控的微纳加工验证平台。

传统方案难适配科研高频迭代需求

当前主流微纳加工方案，已难以匹配前沿科研的灵活验证需求：光刻技术依赖掩膜制版，工艺链条长、参数改造成本高，无法支撑高频次的结构优化；电子束曝光分辨率更高，但加工效率低、设备与维护成本昂贵，难以覆盖大面积周期性结构与批量样品制备；长脉冲激光加工效率占优，但热影响显著，易产生重铸层、熔边与热损伤，不适用于纳米级精细结构与热敏材料。

更核心的痛点是功能单一：多数设备仅能完成表面刻蚀或单一工艺，无法同时覆盖内部直写、曲面加工等多元场景。多设备协同不仅推高综合采购成本，也增加了不同工艺间的数据对齐与研发协调成本。

飞秒激光科研微纳加工平台核心方案

飞秒激光加工系统凭借超短脉冲“冷加工”特性，正在成为科研级微纳加工的主流解决方案。飞秒脉冲作用时间极短，材料去除过程中热量来不及扩散，热影响区可忽略，能有效减少毛刺、重铸层与热损伤，适配高精度微结构制备。

对应科研场景，其核心价值体现在三点：一是跨尺度兼容，单平台即可覆盖纳米至微米级结构制备；二是多场景适配，支持平面、曲面工件加工，也可实现透明材料内部直写；三是工艺灵活可调，能量、路径、光场等参数可通过软件实时修改，大幅缩短科研试错周期。

覆盖核心科研场景 支撑多方向研发验证

光栅直写与周期性结构：参数灵活 快速迭代

光栅与周期性结构是微纳光学、光通信、光谱传感领域的核心基础。传统制备方案依赖光刻或全息曝光，结构参数一旦固定便难以调整，科研阶段的优化成本高、周期长。

星云系列ML-NEBULA支持纳米级线宽光栅刻写，通过调整光路配置、激光能量与扫描策略，可快速制备不同周期、不同形貌的光栅与周期性结构。研发人员无需重新制作掩膜，仅修改软件参数即可完成新一轮样品验证，显著提升结构优化效率。

光波导加工：透明材料内部三维直写

飞秒激光诱导折射率变化，是三维光子芯片与集成光路研发的核心技术路径。但光波导对光束质量、焦点稳定性与能量控制精度要求极高，细微的参数波动就会影响波导传输损耗与器件一致性。

星云系列集成复合光路模块、纳焦耳级精密能量控制与纳米级定位平台，可在玻璃、晶体等透明材料内部实现稳定的三维光波导直写，支撑新型光子器件、三维集成光路、特种光学器件的探索性研究。

超表面与材料研究：多材料兼容 柔性验证

超表面与功能微结构是材料科学、微纳光学领域的研究热点——通过在材料表面构建精准可控的微纳结构，可定制化调控光学响应、润湿特性、摩擦性能与传感灵敏度。这类研究既要求极高的加工边缘精度，又需要适配多类材料的灵活加工能力。

依托低热影响加工特性与光场调制能力，星云系列可制备高精度超表面单元与周期性结构，兼容金属、陶瓷、聚合物、晶体等多类材料，助力科研人员快速完成“结构设计-样品制备-性能优化”的研究闭环。

平台化设计 打造可扩展的科研加工底座

作为科研级飞秒激光微纳加工平台，星云系列ML-NEBULA以平台化设计适配多元研发需求。设备搭载1030nm/515nm/343nm多波长飞秒激光器，提供500mm×500mm与30mm×30mm双幅面配置，小幅面定位精度可达X/Y≤±0.15μm、Z≤±0.5μm。

图：光路密封系统定制

设备光斑直径≥500nm，最小可加工线宽≥300nm，可加工孔径≥200nm，孔径精度≥±50nm；支持定深刻蚀、无碳化切割、直通孔钻孔、透明材料内部直写等多种工艺，兼容平面、柱面、球面及异形器件加工。

同时，设备的复合光路与光场调制能力，可将单光束转化为多焦点阵列或定制化光场形态，进一步拓展实验边界，满足多变量、多路径的科研探索需求。

随着微纳制造向多学科交叉、多尺度融合方向发展，飞秒激光加工系统正从单一工艺工具，升级为前沿科研的核心基础设施。单色科技星云系列ML-NEBULA以多维、可扩展的平台化能力，为光栅直写、光波导加工、超表面制备、材料研究等领域提供高效加工方案，助力科研团队将设计创意快速转化为可验证样品，加速前沿技术成果落地。