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网易科技讯9月11日消息，近期2018年未来科学大奖获奖人名单公布，美国俄亥俄州立大学电机工程博士林本坚荣膺“数学与计算机科学奖”。台湾新竹交通大学校长，美国工程院院士，中央研究院院士，未来科学大奖科学委员会委员张懋中教授在接受记者采访时表示，林本坚博士独享奖金100万美元的原因在于他的一系列突破性的创新所开拓的浸润式微影方法，为建造最强大的计算和通信系统做出了关键贡献。
张懋中教授谈到，现在是集成电路发明后的第60年，在这一个甲子的时间里，半导体工业的革命程度是很难想象的。传统的“干式”微影自1959年半导体工业界发明平面积成电路以来被持续使用了四十年，但在20年前的时候受限于基本光学衍射，用该方法制造特征尺寸小于65纳米的芯片面临无法逾越的瓶颈。这个时候林本坚博士倡导建议了一个新的做法，就是开拓浸润式微影系统方法，他的突破性发明和持久的技术引领促使全球半导体工业界改用“湿式”微影方法。
“当时他这种行为等于是站在整个产业的面前，全世界都往这个方向前进，但他一个人站在这艘航空母舰前面喊了停，说你们错了，这个航向一定要改了，不改搞不下去了。他一个人坚实的站在物理学、光学工艺上透彻的解释走条什么路才能让整个工业继续前进，最后事实证明了他是正确的。”张懋中说道。
张懋中直言这件事也让他自省了自己：“林本坚博士最喜欢讲的一句话，‘虽千万人吾往矣’，就是有千万人站在我面前，我觉得我是对的，我就要坚持我的看法。做科学有时候走了一条冷僻的路，我们不要随便决定一个事情，但如果这个事情你反复验证还是正确的，就要“自反而缩，虽千万人吾往矣。”
本文来源：网易科技报道
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郭浩_NT5629
