国家知识产权局信息显示,宁波润平电子材料有限公司申请一项名为“一种纳米级粗糙度的保持环及其加工方法和应用”的专利,公开号CN122975534A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明提供一种纳米级粗糙度的保持环及其加工方法和应用。所述保持环包括金属环和塑料环,所述塑料环的表面粗糙度为0.01~0.8纳米。本申请提供的技术方案能够显著减低保持环的表面粗糙度,使其达到纳米级,从而使得该保持环在后续用于化学机械抛光的过程中,能够减小保持环与抛光垫之间的局部摩擦及异常磨损,降低颗粒脱落、晶圆划伤和边缘抛光不均的风险,提高化学机械抛光过程的稳定性以及晶圆表面加工质量。
天眼查资料显示,宁波润平电子材料有限公司,成立于2022年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波润平电子材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,专利信息37条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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