四川
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近日，落户成都东部新区临空制造工业总部基地的半导体硬核科创企业——成都中科卓尔智能科技集团（以下简称“中科卓尔”），顺利完成B+轮股权融资。本次融资由多方投资机构参与，推进光刻石英空白掩模版产业化布局，进一步攻坚半导体上游关键材料国产化。
中科卓尔是成都东部新区重点招引的集成电路上游关键材料企业，为国家高新技术企业、专精特新企业。其核心团队源自中科院，长期聚焦半导体光刻空白掩模版、超精密装备研发制造，承担国家产业链攻关任务，突破多项“卡脖子”核心工艺，产品已通过国内头部客户验证。
据悉，本轮融资将重点用于中科卓尔高端石英空白掩模版的核心工艺研发深化与量产产线建设：一方面，加快超精密抛光、真空镀膜等核心装备与工艺结合的自主迭代；另一方面，进一步打通从材料检测、精密抛光、真空镀膜到智能制造的全链条能力，加速推进公司从技术验证向规模化量产的跨越，填补成都半导体材料产业链的关键一环。
本轮融资落地后，企业将扩大高端光刻掩模版基板产能规模，完善全国产业布局，依托成渝两地研发生产协同赋能，进一步提升国内半导体关键材料供给能力。
来源 | 成都东部新区
编辑 | 见贤
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