北京
空白掩模版这条赛道，又落下一笔数亿元级别的融资。成都中科卓尔智能科技集团有限公司近日完成数亿元B+轮融资，投资方包括中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联及川流投资等。
钱要花在哪，公司说得很明确：高端石英空白掩模版的核心工艺升级，以及量产产线建设。具体落在超精密抛光、低缺陷清洗、真空镀膜这几道关键工序上，目标是提升工艺稳定性和产品一致性，并用自主及协同研制的专用装备支撑规模化生产与稳定交付。
中科卓尔成立于2018年，核心业务是高端石英空白掩模版的研发、制造和销售，面向半导体及显示面板产业提供空白掩模版和高精度石英抛光基板，同时做精密光学元件与相关工艺装备的研发。
空白掩模版是制造光掩模版的基础材料。芯片制造中，光掩模版承载电路图形，通过光刻工艺把图形转移到晶圆上；显示面板制造中，光掩模同样承担图形转移的关键作用。空白掩模版的表面平整度、材料纯度和缺陷控制水平，会直接影响后续图形加工精度与产品良率。
难点不在单一指标。石英材料品质、超精密抛光、缺陷控制、镀膜匀胶等多道工序必须同时达标，还要在批量生产中保持稳定一致。高等级产品长期由海外厂商主导，国内光罩产业链对自主供应、稳定交付和规模化制造能力的需求日益迫切。
工艺与装备一起啃
据公司介绍，中科卓尔已建立覆盖材料检测、超精密抛光、低缺陷清洗、真空镀膜及匀胶等环节的制造工艺体系，并打通高精度石英基板前道研磨抛光与后道清洗、镀膜、匀胶的全流程。
前道抛光要同时控制面形精度、亚表面损伤、微小颗粒缺陷及材料应力，仅靠采购设备很难做到。依托精密光学加工的积累，公司形成了“工艺研发—精密检测—装备迭代—批量验证”的闭环；超精密抛光、真空镀膜等关键装备由公司自主设计或联合国内装备企业研制，自主研制的磁控溅射镀膜装备已获得首台套产品认定。
工艺与装备协同研发，指向的是面形、缺陷及膜层等关键指标的持续优化，以及批次一致性的提升，同时增强关键生产环节的供应链自主保障能力。
从样品测试到多批次交付
商业化方面，据公司介绍，空白掩模版产品已陆续通过下游客户验证，进入国内多家头部掩模版制造企业供应链，并从样品测试逐步推进至小批量、多批次交付阶段。
进入客户供应链只是量产验证的起点。从样品测试走向持续交付，还要不断提升生产良率、工艺稳定性和批次一致性——这几项恰恰是空白掩模版最难啃的部分。
在产业协同层面，自主及协同研制装备在真实产线中的应用，可为国产装备提供验证场景和迭代反馈，带动材料、装备、检测与工艺服务协同升级。
公司目前建有掩模版基板企业技术中心、高新区中试平台和国家工信部储备中试平台，并与电子科技大学共建智能光电联合实验室，为工艺迭代和工程化验证提供支撑；2025年获评国家级专精特新“小巨人”企业。
本轮融资后，中科卓尔将继续聚焦高端石英空白掩模版研发与量产产线建设，围绕产品良率、工艺稳定性和批次一致性优化制造流程，以工艺迭代和关键装备协同创新支撑规模化量产与稳定供货，同时推动工程化人才培养与技术成果转化。
投资方的判断集中在同一点上。中银国际投资称，空白掩模版技术壁垒高、研发周期长、客户验证严苛，核心竞争力需要长期技术积累与持续工程化迭代；济南产发集成电路看好其“材料＋工艺＋装备”全链条能力及量产潜力；建投华科将这笔投资定位为支持高精密掩模基板企业突破核心技术、加速产业化落地；江阴新国联认为掩模基板是连接材料与制造的关键环节；川流投资则提到，公司已从技术验证迈向量产爬坡，自主装备为扩产提供了支撑。
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