国家知识产权局信息显示,浙江埃纳检测技术有限公司取得一项名为“一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统”的专利,授权公告号CN224907278U,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆量测设备的晶圆加热控制系统,它涉及半导体量测领域。包括电源、接触器、调整器、透明外壳、红外测温传感器、晶圆、急停按钮、PLC控制器,信号隔离器,温控开关、热电阻和加热盘,调整器通过动力线与加热盘相连,加热盘上放置有晶圆,加热盘外部设置有透明外壳,透明外壳上设置有红外测温传感器,红外测温传感器通过信号线与PLC控制器相连,加热盘底部设置有热电阻和温控开关,热电阻通过信号线及信号隔离器与PLC控制器、调整器相连,温控开关通过接触器与急停按钮相连,接触器还通过动力线与电源、调整器相连,接触器通过信号线与PLC控制器相连。本实用新型通过四种保护手段来保证快速加热能够安全地进行。
天眼查资料显示,浙江埃纳检测技术有限公司,成立于2021年,位于嘉兴市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江埃纳检测技术有限公司参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息17条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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