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Dragonfly®G5
宏观检测系统——专为您的工艺制程而打造。
您经常面临诸多挑战：需要支持多种衬底类型，应对各种检测需求，同时还要缩短整体解决方案的开发周期——这迫使您在工艺灵活性与缺陷检测能力之间进行取舍，进而降低您的生产效率。借助 Dragonfly®
G5 系统，您可以通过掌控工艺来应对这些挑战。
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值得信赖的传统Onto Innovation在半导体工艺控制领域的领导地位建立在数十年的创新之上。如今，我们提供涵盖检测、量测、光刻和企业软件解决方案的广泛产品组合，帮助客户在晶圆厂和先进封装工厂中提升质量、性能和成本效益。Dragonfly 产品系列已累计销售近 1,500 台设备。新一代 Dragonfly G5 系统在此基础上更进一步，作为最新一代图形化衬底检测系统，兼具亚微米级检测和高分辨率 3D 量测能力。
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