辽宁
10月14日，荷兰光刻机巨头ASML交出2026年第三季度财报：净销售额116.62亿欧元，中国市场占到净系统销售额的23%。公司首席财务官罗杰·达森在财报电话会上给出全年判断，中国占比大约在20%上下。一边是对华限制一年比一年紧，一边是中国客户在收入盘里仍然显眼，两边的反差就摆在这里。
深紫外光刻机与半导体洁净车间资料图
限制是一步步加上来的。2018年前后，美国牵头把光刻机对华管制摆上台面；2023年10月，荷兰收紧深紫外光刻机出口；2024年2月，最先进机型被纳入限制；2025年10月美荷官方会晤进一步定调，清单里覆盖全部极紫外光刻机，以及部分浸润式深紫外机型，像NXT:2000i、NXT:2050i都在其中。极紫外机型对华禁运已经多年，大陆产线上一台也拿不到。
ASML洁净车间内的工作人员与设备资料图
设备虽然买不进新的，存量还在手上。半导体行业协会CTS在10月3日的公开材料里给出统计：大陆保有343台浸润式深紫外光刻机。荷兰一家科技媒体据此做了测算，按近年设备使用强度估算，现有这批库存够支撑5到10年的生产线运转。“囤积”是媒体和自媒体的概括说法，这一使用年限同样属于媒体测算，并不是行业协会或设备厂商给出的保证值。
国内晶圆厂洁净车间资料图
新订单的收缩在海关数据里看得很清楚。海关总署统计，2026年第一季度大陆自荷兰进口光刻设备同比下降24.3%；ASML自身披露，对华系统销售占比从2025年报超过25%的水平，回落到2026年第一季度19%、第二季度14%，第三季度又回到23%。2025年全年对华出口150亿欧元、占比28%的高位，已经很难复制。
在大型光刻设备旁协作的洁净室工程师资料图
美国国会今年4月提出提案，想把管制范围延伸到更多深紫外机型。荷兰贸易大臣舍尔茨玛为此专门赴华盛顿交涉，达森在公开表态里把对华深紫外销售扩展限制称为“坏主意”。设备厂、出口方和买家各有各的算盘，真正落到清单上的型号、许可证能不能批，仍要等到双方官方文件落地才算数。
至于国产替代，外媒有报道称大陆自主研制的28纳米浸没式深紫外光刻机已经量产，设备国产化率达到约85%，这一说法目前没有国内官方机构披露细节，只能作为待核实的行业消息看待。备件供应、维护周期、工艺调试和工程师培养，都是库存机继续运转绕不开的环节。
国内半导体制造车间资料图
所谓5到10年能用下去，前提是产线以成熟制程为主、设备维护跟得上，它不等于先进制程可以无限期绕开管制。短期靠存量设备和既有工艺支撑，中期看国产配套能不能补上来，长期的产能天花板还是要落在自主设备链条上。财报数字、存量台数和媒体测算各自说明一段事实，把这几条分开看，才不容易得出过头的结论。
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