国家知识产权局信息显示,时讯微科(北京)科技有限公司申请一项名为“一种制作光栅的激光干涉曝光光路系统”的专利,公开号CN122962899A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种制作光栅的激光干涉曝光光路系统,其特征在于,包括激光器、导光光路、曝光光路,以及条纹锁定光路;所述激光器与导光光路之间设置有一个使激光能够被反射进入导光光路的反射镜M1;所述导光光路上连接有PID模块,且所述曝光管路中设置有与该PID模块相配合的三轴压电位移台。本申请提供了一种制作光栅的激光干涉曝光光路系统,能够有效避免监测光束对潜像光栅进行二次过度曝光损伤,极大的降低了调节的难度,有效的对潜像光栅的相位和姿态进行调节与锁定,很好的促进了行业的发展与进步。
天眼查资料显示,时讯微科(北京)科技有限公司,成立于2015年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,时讯微科(北京)科技有限公司参与招投标项目38次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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