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国家知识产权局信息显示，泛林集团萨尔斯堡有限公司申请一项名为“用于对基底表面进行湿法化学处理的系统和方法”的专利，公开号CN122972174A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本公开涉及一种用于对基底表面进行湿法化学处理的系统和一种用于对基底表面进行湿法化学处理的方法。用于对基底表面进行湿法化学处理的系统包括辐射源，该辐射源被配置为提供第一电磁辐射。该系统还包括分配体，该分配体至少包括喷射孔，其中，喷射孔被配置为相对于基底表面分配湿化学品。该系统还包括至少一个波导模块，其中，该波导模块被配置为引导来自辐射源的第一辐射穿过分配体。该系统还包括传感器元件，该传感器元件被配置为检测第二辐射，该第二辐射是第一辐射在基底表面处的反射辐射。该波导模块还被配置为引导第二辐射穿过分配体并到达传感器。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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