国家知识产权局信息显示,上海擎朴科技有限公司申请一项名为“一种分子泵泵体加热装置”的专利,公开号CN122960593A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本发明适用于半导体制造设备技术领域,提供了一种分子泵泵体加热装置,包括加热组件、与加热组件连接的电源以及对加热组件进行嵌套限位的限位组件,所述加热组件包括对称设置的第一加热管和第二加热管,所述第一加热管和第二加热管设置为半圆弧结构、且分别贴合在泵体上,通过第一加热管和第二加热管环绕对泵体进行加热。该装置解决了现有发热元件的有效加热长度均受限于泵体壁厚,导致加热的均匀性与热效率下降的问题,达到了加热长度不受分子泵壁厚限制,对泵体轴向均匀加热的同时减少向外界热量损失,提高升温效率的效果。
天眼查资料显示,上海擎朴科技有限公司,成立于2023年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,上海擎朴科技有限公司专利信息4条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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