北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“调节膜的方法和相关系统”的专利，公开号CN122959704A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，一种调节膜的方法。该方法包括将其上具有膜的衬底放置在配备有热丝元件的反应腔室中。该方法包括使气体与热丝元件接触以产生一种或多种自由基物质。该方法包括通过将膜暴露于一种或多种自由基物质来调节膜的性质。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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