北京
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国家知识产权局信息显示，亚威科股份有限公司申请一项名为“闸阀及包括闸阀的真空处理装置”的专利，公开号CN122960747A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明提供一种闸阀及包括闸阀的真空处理装置，所述闸阀包括：包括：第一壳体，设有用于使基板移动的开口部；密闭部，设置在所述第一壳体内，能够开闭所述开口部；以及驱动部，与所述密闭部连接，用于移动所述密闭部，其中，所述第一壳体包括以能够彼此分离的方式结合的上部壳体和下部壳体。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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