西方：光刻机的光源是核心，中国学不会！中国：点亮了！国产化率，90%！

2026年10月14日，上海国家会展中心，第二十六届工博会开幕。朗道燧岩的展台上摆着一台机器。它不是整台光刻机，而是一套极紫外光源系统样机，行内管这东西叫高端光刻机的“心脏”。

就是这颗心脏，西方喊了很多年：光刻机的光源是核心，中国学不会。2019年7月起，ASML就停止向中国出售EUV光刻机，想买都买不到。

现在，这颗心脏的样机点亮了，现场工作人员报出的国产化率是90%。那句“学不会”到底凭什么说出口？这盏灯，又亮到了哪一步？

先说这束光有多难伺候。EUV光的波长只有13.5纳米，已经挨着原子的尺度。几乎什么东西都能把它吸收掉，玻璃不行，连空气也不行。所以整条光路只能泡在高真空里，镜头也用不了透镜，只能一面一面全换成反射镜。

光从哪来？自然界没有现成的灯，只能硬“炸”出来。真空腔里，一个喷嘴往外吐熔化的锡滴，每颗二三十微米，差不多一根头发丝粗，每秒喷大约5万颗。

一秒五万次，次次都要打准。激光和锡滴的同步得控制在微秒级，差一点，这一发就空了。

就算打准了，账也难看。转换效率只有大约5%到6%，灌进去一百份能量，变成可用的光只剩五六份，其余全成了热和碎屑。碎屑才是真正要命的地方。收集光的那面镜子，表面镀了100多层膜，每层只有几纳米厚。

锡渣溅上去一粒，镜子就可能报废。行业的办法是往腔里通氢气，让氢和锡渣反应变成气体，再抽走。

难的是一秒打五万次、一次不能失手，还得长时间连着稳稳地干。

这样一盏灯，西方自己也不是一家点亮的。

时间拨回1997年。英特尔、IBM这些芯片大厂，拉上美国桑迪亚、伯克利、利弗莫尔三大国家实验室，组了一个联盟叫EUVLLC，研发协议的预算是2.5亿美元。这笔钱只是开头。

等ASML交出第一台量产EUV设备，已经是2013年，前后整整16年。

光源这一块，ASML自己没搞定，干脆花钱买。2012年它宣布收购美国光源公司Cymer，第二年交易完成，价钱约25亿欧元，按ASML自己的口径算是31亿欧元。

激光器找德国通快定制，镜子交给德国蔡司。

一台ASML的EUV机器，只有大约15%的部件是自己造的，剩下85%靠外面买。说白了，这盏灯是美国的实验室、美国的光源公司、德国的激光和镜子，再加十几年、几十亿的真金白银，一起拼出来的。

“学不会”的底气，就是从这里长出来的。一来先发十几年，二来把路一封，你连拆一台来看看的机会都没有。

高盛的图表评估更狠，说中国在EUV上落后ASML至少20年。

听着吓人，可这些判断都押在一个前提上：被禁运的一方，连个样机都摸不出来。这个前提，2026年10月在上海的展台上被撞碎了。

朗道燧岩这家公司，2024年8月22日才注册。创始人王豪，2020年在清华电机系拿的博士，一直扎在等离子体里。

团队的底子来自清华大学气体放电等离子体实验室，路子从一开始就对准了LPP极紫外光源，也就是前面那套“激光打锡滴”的方案。

两年多后，样机上了工博会。现场工作人员说得很直白：这套光源系统国产化率达到90%，绝大多数核心零部件自主研发，技术路线跟国际领先厂商一致，能拿来做芯片曝光测试。

解放日报给它的定位，是目前公开展示的国产进度最靠前的EUV光源样机。90%到底有多重？拿西方那套拼法一对就明白了。ASML那盏灯，锡滴归荷兰，激光归德国通快，镜子归德国蔡司。

朗道这台，从锡滴发生器到CO₂驱动激光器，从收集镜到等离子体仿真软件，大部分环节都走出了自己的路。

公司干脆分了三块业务：燧岩做EUV光源，辉光做大功率CO₂激光器，天算做等离子体仿真。别人分给三个国家的活，这里一家公司揽下了大头。剩下那一成具体是什么，公司没有公开，所以它是90%，不是100%。

官网上那台低功率样机的参数也摆着：驱动激光功率1000瓦，持续工作超过100小时。

这一步迈得有多大？

西方是凑齐几个国家才把光点亮，中国这边，一个成立两年多的团队，带着九成国产的零件，把同一种光点亮了。

为什么偏偏能追？答案有一半是对手递过来的。2019年7月，EUV买不到了。2023年9月起，荷兰连先进的DUV光刻机也不卖了。2024年，美方又要求限制对华已购光刻机的维保。

先断新货，再断修理，意思很清楚：不光不让你买，连已经买到手的，也想让它慢慢趴窝。

路被堵到这个份上，就没得挑了。买现成的、等人家修的那条路走不通，自己造成了唯一的选项。这一层，ASML自己人早就看明白了。

还是温宁克，照公开报道里的转述，2022年前后他不止一次说过：对华限制出口，只会加快中国自主研发的速度。

这话出自对手之口，也正是今天这台样机的来路。当然，账也要算清。样机EUV输出超过15瓦，而商用要求的中间焦点功率在200到250瓦，中间差得还远。现场工作人员也没回避：离量产还要3到5年，眼下要啃的就是输出功率和长期运行稳定性。

可别忘了，ASML第一代EUV验证机NXE3100，光源功率也就10瓦左右。人家从10瓦往上爬，同样是一年一年熬出来的。

今天这15瓦，站的是同一个起点，而且是在被封锁的环境里自己站上去的。对面也没闲着。2026年2月，ASML放出新的光源进展，要让锡滴喷得更快，还在研究拿固体激光器替换CO₂激光器。

领先者还在拼命加码，说明他们清楚，身后已经有人追上来了。所以，中国学不会吗？

那盏被称作光刻机心脏的光源，样机已经在上海点亮，国产化率做到了90%。温宁克说，物理定律在中国和荷兰没有不同。

这句话现在可以反过来读：锡滴在上海一样能被打出那束13.5纳米的光，从15瓦到两百多瓦，剩下的只是一级一级往上爬。这盏灯，迟早要亮上产线。

参考资料：

朗道燧岩EUV光源系统样机2026工博会首秀：国产化率达90%.IT之家转引解放日报.2026-10-14

Microdroplet-tin plasma sources of EUV radiation driven by laser pulses Versolato et al..学术综述.2026-10-14

现代化产业体系中科技创新与产业创新的深度融合：全球新一代光刻系统的启示.《中国科学院院刊》2024年7月刊

ASML unveils EUV light source advance that could yield 50% more chips by 2030.路透社

1 How ASML Got EUV Construction Physics 严肃媒体/技术史 EUV LLC 2003年结束、SEMATECH接棒、ASML 2013年首台量产、尼康佳能出局 high B库补充.ep.tsinghua.edu.cn.2021-02-25