博涛智能申请薄膜检测方法相关专利，实现薄膜厚度在线全检与无损合格判定

来源：新浪证券-红岸工作室

10月22日消息，国家知识产权局信息显示，江苏博涛智能热工股份有限公司申请一项名为“薄膜的检测方法以及薄膜生产设备”的专利。申请公布号为CN122952921A，申请号为CN202611120716.4，申请公布日期为2026年10月20日，申请日期为2026年7月27日，发明人陶志波、袁文志、霍李均，专利代理机构苏州三英知识产权代理有限公司，专利代理师周鹤楠，分类号H10P74/20、C23C14/54、C23C16/52、H10P74/00、H10P72/00、G01B21/08。

专利摘要显示，本发明公开了一种薄膜的检测方法以及薄膜生产设备，所述薄膜的检测方法包括以下步骤：在薄膜制备前，将基材转移至质量测量模块上，测得基材的质量，记为初始质量；在薄膜制备后，将含有薄膜的基材转移至质量测量模块上，通过质量测量模块测得含有薄膜的基材的质量，记为总质量；计算所述总质量与所述初始质量之间的差值，将所述差值记为所述薄膜的质量；根据预设的所述薄膜的质量与薄膜的厚度之间的对应关系，将所述薄膜的质量转换为所述薄膜的质量换算厚度；判断所述质量换算厚度是否落入预设厚度范围内，若是，则判定所述薄膜合格；若否，则判定所述薄膜不合格。本发明能够对每一薄膜产品的在线全检与无损评估。

天眼查数据显示，江苏博涛智能热工股份有限公司成立日期2010年5月21日，法定代表人霍李均，所属行业为其他制造业，企业规模为中型，注册资本10613.7931万人民币，实缴资本10613.7931万人民币，注册地址为江苏省苏州市常熟市辛庄镇富丽路18号。江苏博涛智能热工股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目181次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息321条，拥有行政许可31个。

江苏博涛智能热工股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1PECVD设备发明专利发明专利申请公布、公布CN202611337472.52026-08-31CN122918523A2026-10-16张敏、刘雨源2薄膜的检测方法以及薄膜生产设备发明专利发明专利申请公布、公布CN202611120716.42026-07-27CN122952921A2026-10-20陶志波、袁文志、霍李均3用于MFC和真空计的校准设备及校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202611052904.82026-07-15CN122591136A2026-08-18钱超、霍李均、崔恒飞4OLED面板真空退火炉发明专利发明专利申请公布、公布CN202611006282.52026-07-07CN122881406A2026-10-09孙磊、霍李均、崔恒飞5硅碳负极材料、其制备方法以及硅碳负极极片发明专利实质审查的生效、公布CN202610939508.02026-06-26CN122677411A2026-09-01苏豪祺、李正秋、陈贞毅、崔恒飞、陶志波、霍李均6具有分级筛筒的回转炉加热筒体及回转炉发明专利实质审查的生效、公布CN202610765833.X2026-05-29CN122384471A2026-07-14钱伊杰、施卫、王海阳、霍李均7卧式干法增密机发明专利实质审查的生效、公布CN202610642911.72026-05-11CN122518772A2026-08-07唐杰、付友、丁海燕8流化床反应器的监测方法和流化床发明专利公布CN202610548710.02026-04-23CN122428263A2026-07-21霍李均、李正秋、陶志波、崔恒飞9用于连接热压炉和电源的连接装置发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202610253998.92026-03-03CN121886055A2026-04-17翟国平、乐伟、廖春晓、汪澎10生物质糖溶液汽提-加氢装置及生物质糖加氢工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202610120235.72026-01-28CN122006596A2026-05-12霍李均、施卫11PECVD设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512003105.32025-12-29CN121428510A2026-01-30归玉龙、霍李均、崔恒飞12多片式薄膜沉积腔体自适应密封传输结构及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511978650.82025-12-25CN121380927A2026-01-23张小强、霍李均、崔恒飞13ALD设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511933225.72025-12-19CN121496368A2026-02-10刘林、霍李均、陶志波、崔恒飞14PECVD下电极发明专利公布CN202511829944.42025-12-05CN121556006A2026-02-24朱儒东、霍李均、崔恒飞15流化床反应器的底部机构发明专利授权CN202511829945.92025-12-05CN121466933B2026-07-17陈贞毅、霍李均、刘雨源16高温粉体切断阀发明专利实质审查的生效、公布CN202511820118.32025-12-04CN121452351A2026-02-03刘雨源、霍李均、陈贞毅、崔恒飞17用于薄膜沉积的前驱体输送装置及沉积装置实用新型实用新型专利权授予、授权CN202522538921.X2025-11-28CN224858445U2026-10-16穆克冉、崔恒飞、张小强18一种适应于多尺寸腔体的翻转系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511712970.92025-11-20CN121447576A2026-02-03朱儒东、霍李均、崔恒飞19多片式镀膜装置和镀膜设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511584358.82025-10-31CN121407058A2026-01-27张小强、霍李均、崔恒飞20PECVD用的面板定位机构发明专利发明专利申请公布后的驳回、公布CN202511519750.42025-10-23CN120989589A2025-11-21钱超、霍李均、崔恒飞21面板固定翻转装置实用新型授权CN202522244704.X2025-10-23CN224691180U2026-08-28孙磊、崔恒飞、钱超22MFC标定回路及使用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511493342.62025-10-20CN121325820A2026-01-13霍李均、乔佳晓、陶志波、崔恒飞23柔性显示面板、显示装置及制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511499331.92025-10-20CN121335388A2026-01-13霍李均、张敏、陶志波、崔恒飞24APCVD中的喷头发明专利实质审查的生效、公布CN202511425638.42025-09-30CN121272380A2026-01-06霍李均、沈亚南、陶志波、崔恒飞25双层置换室发明专利实质审查的生效、公布CN202511411889.72025-09-29CN121230458A2025-12-30钱钧达、张志敏、周芳26PECVD抑制等离子体鞘层的传输结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511411895.22025-09-29CN121260719A2026-01-02钱超、霍李均、崔恒飞27陶瓷加热器实用新型CN202522103623.82025-09-29CN224875177U2026-10-20杨玉峰、崔恒飞、孙磊28一种OLED上PECVD使用的气体均匀扩散装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511401963.72025-09-28CN121204637A2025-12-26归玉龙、霍李均、崔恒飞29一种开盖防呆机构发明专利实质审查的生效、公布CN202511391124.12025-09-26CN121084767A2025-12-09张小强、霍李均、崔恒飞30定位校准装置发明专利公布CN202511363827.32025-09-23CN121020166A2025-11-28孙磊、霍李均、崔恒飞31定位校准装置实用新型授权CN202522045547.X2025-09-23CN224645956U2026-08-18孙磊、崔恒飞、归玉龙32喂料机实用新型授权CN202522000683.72025-09-17CN224619104U2026-08-11唐杰、张兵、冯晓文33唇形密封圈实用新型授权CN202521894423.22025-09-03CN224579759U2026-07-31刘印坤、崔恒飞34管道内壁清洁装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511208651.42025-08-27CN121131359A2025-12-16金磊、王海阳35一种用于陶瓷桶的安装结构实用新型授权CN202521702618.22025-08-12CN224488987U2026-07-14归玉龙、崔恒飞36一种带基板位置检测的传输腔腔体实用新型授权CN202521691401.62025-08-11CN224482032U2026-07-10穆克冉、崔恒飞37一种快换晶圆载盘结构实用新型授权CN202521692245.52025-08-11CN224633554U2026-08-14杨玉峰、崔恒飞38一种PECVD使用的视觉镜头调节机构发明专利公布CN202511102751.92025-08-07CN120666316A2025-09-19钱超、霍李均、崔恒飞39一种面板用带校准功能的翻转机构实用新型授权CN202521674063.52025-08-07CN224449315U2026-07-03孙磊、崔恒飞40匣钵自动化输送线设备外观专利授权CN202530404122.62025-07-10CN309800407S2026-02-17唐杰41可快速降温的箱式炉实用新型授权CN202521329767.92025-06-26CN224415751U2026-06-26高远、姜春鹏42辊道炉发明专利实质审查的生效、公布CN202510853254.62025-06-24CN120403245A2025-08-01高远、姜春鹏43辊道炉实用新型授权CN202521303123.22025-06-24CN224455364U2026-07-03高远、姜春鹏44用于电子设备的湿法配料水洗系统操作图形用户界面外观专利授权CN202530358233.82025-06-20CN310018634S2026-06-05李尧、施卫、荣盛超、高颜、宋延炳、朱雨安45用于电子设备的后处理系统操作图形用户界面外观专利授权CN202530358050.62025-06-20CN310018633S2026-06-05施卫、荣盛超、高颜、宋延炳、朱雨安、李尧46用于电子设备的投料配料系统操作图形用户界面外观专利授权CN202530358235.72025-06-20CN310018635S2026-06-05朱雨安、施卫、荣盛超、高颜、宋延炳、李尧47用于电子设备螺带冷却包装系统操作的图形用户界面外观专利授权CN202530358047.42025-06-20CN310018632S2026-06-05高颜、施卫、荣盛超、宋延炳、朱雨安、李尧48用于电子设备犁刀混料系统操作的图形用户界面外观专利授权CN202530358043.62025-06-20CN310018630S2026-06-05宋延炳、施卫、荣盛超、高颜、朱雨安、李尧49用于电子设备的螺带混料系统操作图形用户界面外观专利授权CN202530358046.X2025-06-20CN310018631S2026-06-05荣盛超、施卫、高颜、宋延炳、朱雨安、李尧50用于电子设备的后处理螺带混料系统操作图形用户界面外观专利授权CN202530358048.92025-06-20CN310045825S2026-06-23施卫、荣盛超、高颜、宋延炳、朱雨安、李尧