上海
在半导体产业，国产化究竟走到了哪一步？
10月15日，在深圳湾芯展现场，财闻和求是缘半导体联盟一起走访28家联盟会员企业。从密封件、流体系统、精密运动平台等设备零部件，到光刻、CMP、离子注入等核心工艺装备，再到量检测、晶圆测试以及超纯水、特气、洁净物流等配套环节，一条越来越完整的国产半导体产业链在展台之间逐渐清晰起来。
此次走访呈现出的一个突出变化是：国产半导体的突破，正在从少数核心设备的“点状突破”，扩展到产业链更多细分环节的同步推进。
过去，半导体设备国产化更多聚焦于光刻机、刻蚀机、薄膜沉积等核心设备。而此次走访中可以看到，大量企业正在从更细分的环节切入。
例如，沸点密封正在推进半导体设备FFKM全氟密封件国产化；浙江启尔科技布局晶圆湿法工艺精密流体输送系统；氟微新材料聚焦PFA、PTFE高纯氟塑料零部件；克洛诺斯则攻关纳米级精密运动控制平台。这些产品单独看并不起眼，却都是半导体设备稳定运行不可或缺的关键部件。
这意味着，国产半导体设备的竞争，已经不只是整机企业之间的竞争，背后正在形成越来越多本土零部件、材料和子系统企业的支撑。
在核心设备和量检测领域，这种变化更加明显。
中科飞测已经形成光学、电子束、X光三大量检测技术路线；御微半导体、维普半导体聚焦掩模版缺陷检测；中导光电从面板AOI领域切入半导体晶圆缺陷检测；电科装备则重点布局离子注入机、CMP等前道核心设备。与此同时，开悦半导体在12英寸涂胶显影设备领域取得突破，研微半导体布局ALD、PECVD、硅外延和原子层刻蚀等薄膜工艺设备。
从这些企业的发展路径可以看到，国产设备正在向产业链更深处推进。过去一些长期依赖进口的设备和关键部件，如今已经出现越来越多国内供应商，并开始进入长鑫、新凯来、中微等头部晶圆厂和设备厂商的验证、导入甚至批量供货阶段，部分企业也进入了美光、英伟达等产业链。
国产化的另一项变化，是产业链的“配套能力”正在同步形成。
芯片制造不仅需要设备，还需要超纯水、特种气体、稳定电力、洁净物流等复杂的厂务系统。此次走访的纯水一号、东开半导体、气安仕、科雷特能源、开尔唯科技等企业，分别从超纯水、特气、厂务流体、电能质量和精密设备物流等环节提供国产解决方案。
这些企业共同构成了一个容易被忽视、却十分重要的事实：国产半导体的进步，不仅是“把一台设备造出来”，更是整个产业生态的国产化能力正在提升。
从零部件到核心装备，从检测设备到测试设备，再到厂务和产业服务，此次28家企业走访呈现出的，实际上是一张不断补齐的国产半导体产业链图谱。
当然，这并不意味着所有环节都已经实现国产替代。部分高端设备和关键零部件仍存在技术差距，一些企业的产品仍处于验证、导入阶段。但从企业数量、产品覆盖范围以及商业化进展来看，国产化正在从“有没有”逐渐转向“好不好、能不能规模化”。
尤其值得关注的是，产业链企业之间的协同正在增强。此次走访中，既有成熟企业，也有快速成长的新锐企业；既有设备整机厂，也有零部件和材料供应商。部分企业之间已经出现投资、供应链合作等联系，产业链上下游正在形成更加紧密的协作关系。
对于中国半导体产业而言，这或许比单个企业的突破更加重要。
从一个个细分赛道的国产替代，到越来越完整的产业链配套，中国半导体产业正在经历一场从“单点突围”向“体系化成长”的变化。求是缘半导体联盟此次走访的28家企业，只是这一变化中的一个样本，但透过这些企业，可以看到国产半导体产业正在积蓄的另一种力量——越来越多的企业在自己的细分领域向前一步，最终汇聚成整个产业链向前的一大步。
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