北京
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国家知识产权局信息显示，广东省大湾区集成电路与系统应用研究院取得一项名为“一种紫外光源系统光输出性能测量装置”的专利，授权公告号CN224873287U，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本实用新型属于光检测设备技术领域，具体公开了一种紫外光源系统光输出性能测量装置，其包括：测试台、出光柱、盖板、三轴位移台、紫外辐射计；测试台与光源系统的光源安装室相连接，光源安装室的顶部设置有出光口，出光柱中部具有过光通道，盖板设置有测试光口；三轴位移台具有移动台，移动台位于测试光口处，紫外辐射计具有探头。三轴位移台可移动紫外辐射计的探头，使得紫外辐射计可以检测多个检测点位的辐照度，经过计算便可以得到X轴方向的辐照度均匀性、Y轴方向的辐照度均匀性和汞灯光源系统的光输出平均辐照度，以更好地测试和验证汞灯及其光源系统的性能，缩短了将光源系统安装到光刻机中的调试和测试时间，提高了生产效率。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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