北京
国家知识产权局信息显示，江苏天芯微半导体设备有限公司取得一项名为“一种等离子体处理设备”的专利，授权公告号CN224874266U，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种等离子体处理设备，包括：上盖组件、腔室组件、下电极组件、进气控制组件、真空控制组件。腔室组件与其顶部的上盖组件围成工艺腔室。腔室组件包括腔体和后门板，腔体侧壁与后门板分别嵌入第一加热部件与第二加热部件，并分别对称分布。下电极组件包括:与后门板连接的下电极腔体，及安装于其上端面的基座和静电吸盘。进气控制组件与上盖组件顶部相连，并引入工艺气体。腔室底面的中心设有与真空控制组件连接的抽气口。上盖组件、基座组件、腔室组件与抽气口同轴设置。本实用新型所述处理设备，通过气体流场、温度分布热场、射频场、静电场等多控制元素设计集成，影响刻蚀工艺进行效果，增强刻蚀过程调节手段。
天眼查资料显示，江苏天芯微半导体设备有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16385.15万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏天芯微半导体设备有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息47条，专利信息224条，此外企业还拥有行政许可30个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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