北京
国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“刻蚀机腔室控制系统的异常处理方法、系统和存储介质”的专利，公开号CN122950353A，申请日期为2026年9月。
专利摘要显示，本公开提供了一种刻蚀机腔室控制系统的异常处理方法、系统和存储介质；其中，该方法应用于刻蚀机腔室控制系统中的上位机，系统还包括主机、中转装置和多个下位设备，每个下位设备对应一个腔室，每个腔室对应多路线圈，主机与上位机通信连接，上位机通过中转装置分别与各个下位设备通信连接，方法包括：按预设周期，获取各个下位设备分别对应的目标故障码；若检测到与任一下位设备的通信连接断开，向对应下位设备最近一次获取到的目标故障码注入软件虚拟故障位；根据各个下位设备的当前运行状态和目标故障码，确定各个下位设备的故障处理策略，执行所确定的故障处理策略。本公开可以提高异常应对的灵活性。
天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息28条，专利信息73条，此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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