国家知识产权局信息显示,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请一项名为“一种晶圆再生中的边缘倒角工艺方法”的专利,公开号CN122952925A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本申请属于半导体制造领域,具体涉及一种晶圆再生中的边缘倒角工艺方法。本发明针对现有晶圆再生工艺中边缘倒角处理存在的角度控制精度差、表面质量不稳定等问题,提供了一种优化的边缘倒角工艺方法。该方法包括对再生晶圆边缘进行精确的磨削和抛光处理,通过控制倒角角度和表面粗糙度,优化边缘轮廓。本申请通过采用上述技术方案,能够实现再生晶圆边缘的高精度处理,显著提升边缘质量一致性,减少后续工艺中的颗粒污染和应力集中问题,有效提高再生晶圆的可靠性和良品率。
天眼查资料显示,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司,成立于2019年,位于铜陵市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本123009.7159万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息180条,此外企业还拥有行政许可36个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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