江苏
据投融湾获悉，近日，苏州盛拓半导体科技有限公司（下文简称：盛拓半导体）成功完成1.2亿元融资。本轮融资的投资方有成都科创投、扬州科融、招引壹号基金、海愿资本、海南泰达等。
盛拓半导体创立于2021年8月，公司总部位于江苏省苏州市吴江区。盛拓半导体的核心定位是做半导体制造设备的关键零部件和整机集成系统供应商，主攻半导体设备里的超精密运动控制赛道。
创始人陈庆生
盛拓半导体的创始人是陈庆生，博士学位，国内光刻机核心运动部件领域资深技术专家。曾任职上海微电子装备，担任运动台特种电机部负责人。2017年后，陈庆生参与规划建设复旦大学超精密运动控制与检测实验室，并负责实验室运营执行。2021年，创办盛拓半导体，把在光刻机项目中积累的精密机电、磁浮运动、真空特种电机技术，转化成面向国内半导体产业的商业化产品。
核心产品分为两大类
盛拓半导体的核心产品分为两大类，一类是核心零部件/分系统，另一类是整机集成设备。零部件产品里，最核心的是6自由度磁浮平面电机、真空水冷特种电机。整机产品中，最核心的是MA-8接近式光刻机、HB全自动混合键合设备和功率半导体循环测试机。
那到底什么是半导体设备呢？简单点说就是，做芯片就像雕刻一样，要用极其精细的刻刀，在指甲盖大小的区域，刻上亿条线路。要完成这个雕刻，硅片必须被设备牢牢固定，并且移动到指定位置，移动误差要控制在纳米级别，一根头发直径大约是8万纳米，也就是说移动偏差不能超过头发直径的几万分之一。而盛拓半导体做的就是，把硅片精准移动、定位、传输的整套“精密运动平台”，同时也做搭载这套平台的整机设备。
纳米级超精密运动控制技术
盛拓半导体的核心技术是纳米级超精密运动控制技术，整套技术难点不只是单个零件，而是机电光软一体化，机械结构、电机、光学测量、控制软件要协同匹配，任何一个环节不达标，整体精度就无法实现。其中，特种电机设计，解决无摩擦、低污染、高精度驱动。精密测量与实时控制，依靠激光干涉仪实时读取位置，高速算法实时修正平台位置偏差。微环境与减振技术，隔绝外界震动、控制温度波动。
几百亿美元的巨大市场
全球半导体设备市场长期由海外巨头占据，大量核心零部件依赖进口，而中国大陆又是全球最大半导体设备单一市场。据统计，2025年，国内半导体设备市场规模达到493亿美元。当前国内整机设备国产化在稳步推进，但上游核心精密机电零部件国产化进度更慢，光刻、量测设备相关零部件国产化率不足25%，属于产业链短板，替代空间巨大。
作为国内半导体精密运动控制赛道里一家具备完整系统能力的国产设备企业，盛拓半导体补齐了国内半导体装备产业链中超精密运动平台、真空特种电机这类“卡脖子”细分零部件，为国内大量特色工艺芯片厂提供国产化设备选择，是国内半导体装备上游国产替代浪潮中，精密机电一体化领域代表性企业之一。
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