北京
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国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司取得一项名为“溅射系统”的专利，授权公告号CN224870127U，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，提供了溅射系统。溅射系统包括溅射设备、将工艺气体供给到溅射设备的工艺气体供给装置、以及将氧气体供给到溅射设备的氧气体供给装置，其中溅射设备包括提供工艺空间的工艺室、在工艺空间内的工作台、提供延伸到工艺空间的等离子体放电空间的放电管、缠绕放电管的射频(RF)线圈以及加热所述放电管的加热装置。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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