上海
10月14日至16日，2026湾区半导体产业生态博览会在深圳会展中心（福田）举办。本届展会以“芯向未来 智创生态”为主题，展览面积近8万平方米，来自22个国家和地区的1000余家企业参展。迅杰光远全资子公司——无锡光远芯程科技有限公司携化学药液浓度计及系列在线监测解决方案亮相本次展会，面向晶圆制造、封装测试等环节的专业观众，展示近红外光谱技术在湿法制程药液浓度实时监测中的应用价值。
聚焦湿法制程痛点，“即测即控”解开行业难题
在芯片制造的湿法清洗与刻蚀工艺中，化学药液浓度的精确管控直接影响产品良率。然而，药液浓度波动大、人工检测滞后、药液消耗高等问题，长期困扰着产线的高效运行。
针对这些共性难题，光远芯程以近红外光谱分析技术为关键，给出在线监测解决路径。该系列产品可直接集成于晶圆清洗机、刻蚀设备的药液循环管路中，对关键溶液成分实现7×24小时不间断、高精度实时监测。通过实时采集药液光谱数据，结合自主研发的智能算法模型，设备秒级输出浓度反馈，并与产线控制系统联动，实现闭环定量补液与自动调节。
这一“即测即控”模式，帮助客户将药液浓度偏差控制在极窄窗口内，同时降低异常返工率和化学品损耗，为湿法制程数字化、智能化管控提供技术支撑。
覆盖多品类药液体系，灵活适配不同产线需求
本次展出的化学药液浓度计方案展现了出色的工艺适配能力。该方案可对清洗液、刻蚀液、去胶液等多品类药液进行在线检测，覆盖SC系列（SC1/SC2）、SPM/DSP、DHF等典型药液体系。无论是晶圆清洗、湿法蚀刻还是CMP抛光等关键工艺环节，该方案均可灵活适配不同产线的工艺要求。
相较于传统检测方式，该化学药液浓度计无需化学试剂、无需样品前处理，也不破坏药液原有体系，能够秒级输出浓度数据并连续在线运行。设备支持在线自动校准、数据追溯与防腐蚀设计，可适配高温、高压及强腐蚀等严苛工况，并可通过多种标准工业通讯接口接入现场工控系统，实现数据远传、浓度上下限阈值设定与超限报警。结合光纤探头与多通道扩展能力，方案能够适应机台内部有限空间和不同产线的测点部署需求。
展会现场，公司技术团队通过动态演示和场景化讲解，向到访嘉宾直观呈现了产品在稳定性、响应速度和适配灵活性上的突出优势。
本届湾芯展期间，光远芯程与晶圆制造、封装测试、半导体设备等环节的产业链伙伴进行了较为深入的技术交流，进一步明确了湿法制程在线浓度监测的实际需求与落地路径。面向未来，公司将持续加大研发投入，深化光谱智能监测在半导体、FPD、太阳能等高精尖场景的落地应用，并携手产业链伙伴，共同攻克湿法制程数字化、智能化转型中的关键难题，为国产半导体关键部件与智能监测技术的高质量发展贡献坚实力量。
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