国家知识产权局信息显示,江苏福拉特半导体设备有限公司申请一项名为“一种应用于半导体工艺的自动配比及回收药液系统及方法”的专利,公开号CN122935171A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种应用于半导体工艺的自动配比及回收药液系统及方法,包括循环供液系统、回收管理系统以及控制模块;循环供液系统包含配比罐、A级回收罐与B级回收罐,采用先B级回收药液粗腐蚀/粗清洗、后A级药液精腐蚀/精清洗的分级供液逻辑;回收管理系统包含回收处理罐与在线检测模块,可将工艺排出的回收药液按品质参数分级为A级、B级与C级,分别输送至对应回收罐回用或直接排废;控制模块统筹控制药液自动配比、供液通路切换、回收品质判定与罐体自动补液,实现全流程闭环自动化运行。本发明可提升药液利用率,降低新液消耗与危废排放量,保障工艺稳定性,适用于半导体晶圆湿法腐蚀与清洗量产工艺。
天眼查资料显示,江苏福拉特半导体设备有限公司,成立于2019年,位于南京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1368.4211万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏福拉特半导体设备有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目42次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息90条,此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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