北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“反溅缺陷监测方法、控制器及反溅缺陷监测装置”的专利，公开号CN122935221A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种反溅缺陷监测方法、控制器及反溅缺陷监测装置，通过获取表征晶圆旋转产生的飞溅液滴遮挡状态的液滴传感信号并生成各飞溅液滴对应的坐标分布图信息，结合飞溅液滴的时序图像信息解析各飞溅液滴的液滴运动方向，能够在涂覆工艺过程中识别预设限定区域内远离腔体侧壁移动的液滴并统计其数量，进而在液滴数量达到预设数量阈值时将晶圆送入检测机台确认是否存在液滴飞溅缺陷，以提高反溅缺陷监测的实时性与准确性，并提升工艺监控效率。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目197次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息1164条，此外企业还拥有行政许可57个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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