北京
IT时代网10月16日消息，深圳鹏城实验室在第六届学术活动周期间发布「超级光直连系统与光芯片」系列技术成果，国产光芯片工艺平台「河套线」同步通线。
「河套线」全称为特大容量光通信高性能异质集成光芯片工艺平台，落址于深圳河套深港科技创新合作区，是国内少有的面向光通信异质集成光芯片工艺的量产技术验证平台。平台建设有超 1000 平方米全百级超净实验室，采用「硅光无源工艺加晶圆级异质集成工艺」技术路线，搭建起紫外光刻、薄膜沉积、干法刻蚀及晶圆级多材料直接键合等完整模块化工艺能力。
目前该平台已完成高速薄膜铌酸锂调制器芯片制备，以及硅基 III-V 族、硅基薄膜铌酸锂的晶圆级异质键合工艺验证，具备为光通信、光互连等领域提供定制化新材料前沿工艺的验证能力。
在核心器件层面，团队基于 28nm CMOS 工艺节点突破 100GHz 宽带放大器，研制出国际首个单波 400G PAM-4 全 CMOS 工艺光电集成发射机，同时研发出 O、S、C、L 波段一体化外腔窄线宽可调谐激光器，调谐覆盖范围达 300nm。
系统成果方面，团队研制的直调直检 800G 密集波分复用光模块实现单纤 16Tb/s 实时传输，容量是目前商用直调直检方案的 20 倍。项目还实现了 24.8Tb/s、1.2 万公里超长距离空芯光纤传输，以及 20.2Pb/s 实时光交换系统，可同时支持 316 路光纤交换。
注：本文配图由AI生成。本文中包含AI辅助创作的内容。
编辑：林一舟
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
