上海
半导体设备午后拉升，消息面上，摩根大通预计，全球晶圆制造设备（WFE）市场规模将在2026年达到1630亿美元，同比增长31%；2027年进一步增长38%，至2250亿美元；2028年达到2630亿美元，同比增长17%。
华龙证券认为，半导体设备受益于存储涨价与晶圆厂资本开支上行，先进逻辑、存储与先进封装相关AI投资构成核心驱动力。SEMI预计2026年全球半导体设备销售额为1659亿美元，同比增长23.2%，2028年将达2295亿美元。
截至2026年10月15日14:39，科创半导体设备ETF鹏华(589020)标的指数上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.35%，成分股京仪装备上涨7.16%，华海清科上涨5.56%，拓荆科技上涨4.00%，盛美上海上涨2.30%，中微公司上涨2.16%。
科创半导体设备ETF鹏华(589020)紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年9月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中科飞测、中微公司、拓荆科技、芯源微、华峰测控、盛美上海、沪硅产业、安集科技、富创精密，前十大权重股合计占比74.02%。
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