薄膜厚度是镀膜产品的核心质量指标,广泛应用于半导体、显示面板、光学器件、生物医药、汽车、新能源等众多领域,贯穿研发、生产、质检全流程。传统检测方法存在有损检测、精度低、效率低、场景适配性差等痛点,难以满足各行业精细化、高速化、智能化的质量管控需求。蓝景反射膜厚仪基于白光干涉原理,集纳米级精度、高速采样、宽光谱覆盖、强抗干扰、多场景适配于一体,为各行业提供专业的薄膜厚度检测整体解决方案。
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仪器基于白光干涉原理,氘卤组合双光源提供紫外至近红外全光谱入射光,经薄膜上下表面反射产生干涉,高速光谱模块采集干涉信号,通过智能模型反演解析薄膜厚度、光学常数及粗糙度。支持 20nm 超薄膜检测,测量误差小于 1nm,重复精度高达 0.05nm,检测精度行业领先。最高采样速度达 100Hz,适配产线快速检测与多点扫描。采用抗干扰光学系统与多参数反演算法,复杂环境下测量稳定可靠。
非接触无损检测,不损伤样品,适配研发、生产、质检全场景。设备小巧易安装,可灵活部署于实验室、生产线、检测工位;配套专业分析软件,支持数据实时上传,可对接 MES、SPC 系统,实现工艺闭环管控。支持自定义膜结构测量与二次开发,可根据不同行业、不同产品定制检测方案,适配性强。
广泛适用于半导体晶圆镀膜、显示面板薄膜、光学器件镀膜、生物医用涂层、汽车玻璃膜层、新能源薄膜、产线在线检测、高校科研等众多场景。无论是研发阶段的性能验证,还是量产阶段的在线质控,均可提供精准、高效的检测支撑。蓝景反射膜厚仪,以领先的技术性能与完善的场景适配能力,助力各行业实现薄膜品质精准管控,支撑产品品质提升与技术创新。
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