国家知识产权局信息显示,深圳溢鑫智能科技有限公司申请一项名为“一种直立石墨烯生长设备及其生长工艺”的专利,公开号CN122898871A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本申请提供一种直立石墨烯生长设备及其生长工艺,属于直立石墨烯加工技术领域。所述设备包括工艺生长箱,沿直线依次排列进口室、磁控溅射室、预热室、高温预热室、石墨烯生长室和出口室,石墨烯生长室与出口室之间设有过渡腔室,其内部两端分别设置有门阀,且配备独立抽气系统,过渡腔室前端的基片架支撑区域缩短公分。所述工艺包括衬底装载进样、表面镀膜、逐级预热、直立石墨烯生长、过渡缓冲、冷却出样及可选收卷处理。本申请通过过渡腔室实现气氛隔离保证产品纯度,通过辊压机构与除尘吸附机构协同配合,在收卷时消除薄膜扭转偏移并同步清理表面碎屑。
天眼查资料显示,深圳溢鑫智能科技有限公司,成立于2015年,位于深圳市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳溢鑫智能科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目21次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息37条,此外企业还拥有行政许可17个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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