北京
国家知识产权局信息显示，青岛方益技术有限公司取得一项名为“一种光罩传送臂及半导体设备”的专利，授权公告号CN224844715U，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本申请提供一种光罩传送臂及半导体设备，其中，光罩传送臂包括叉臂本体、照明单元、光接收单元。照明单元以入射角度可调的形式安装于叉臂本体上；光接收单元安装于叉臂本体，用于采集光罩表面的光信号；光罩传送臂具有明场检测模式与暗场检测模式；在暗场检测模式下，照明单元的入射角度处于第一角度区间，光罩表面的镜面反射光偏离光接收单元的接收视场，光接收单元采集颗粒产生的散射光信号；在明场检测模式下，照明单元的入射角度处于第二角度区间，光罩表面的镜面反射光进入光接收单元的接收视场。本申请的光罩传送臂通过设置入射角度可调的照明单元实现明暗场双检测模式，兼顾微颗粒检出与宏观缺陷识别。
天眼查资料显示，青岛方益技术有限公司，成立于2023年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛方益技术有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息33条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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