北京
国家知识产权局信息显示，中芯集成电路（宁波）有限公司申请一项名为“一种MEMS器件的制作方法和MEMS器件”的专利，公开号CN122897365A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明提供了一种MEMS器件的制作方法和MEMS器件，其中，制作方法包括：提供第一晶圆，第一晶圆设置有凹槽；提供第二晶圆，并将第二晶圆与第一晶圆的一侧熔融键合，以密封凹槽形成第一空腔；提供第三晶圆，并将第三晶圆与第二晶圆远离第一晶圆的一侧熔融键合，以形成第二空腔。通过将第二晶圆与第一晶圆进行熔融键合，以及将第二晶圆与第三晶圆进行熔融键合，保证了第一晶圆、第二晶圆和第三晶圆之间的键合界面的密封性，因此，制程中无需额外制作疏水层进行辅助密封，也就从根源上避免了因为疏水层残留导致键合结合力的问题，同时，由于省去了设置疏水层的相关步骤，也简化了整体制成工艺步骤。
天眼查资料显示，中芯集成电路（宁波）有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本473304.347718万人民币。通过天眼查大数据分析，中芯集成电路（宁波）有限公司参与招投标项目40次，财产线索方面有商标信息71条，专利信息566条，此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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