国家知识产权局信息显示,宁波南大光电材料有限公司申请一项名为“一种BARC树脂、制备方法及其用途”的专利,公开号CN122878488A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种BARC树脂、制备方法及其用途。本发明的BARC树脂的制备方法包括:S1、取不同极性的多种溶剂混合,得到复合分散体系;S2、取苯乙烯衍生物单体、含羟基的甲基丙烯酸酯单体和含富氧基的甲基丙烯酸酯单体,根据三种单体的反应活性差异,采用不同的投料方式加入所述复合分散体系中,获得预聚合液;S3、采用分段控温的方式并添加引发剂使所述预聚合液充分反应,得到聚合反应液;S4、将所述聚合反应液进行沉淀处理,分离出沉淀物即获得所述BARC树脂。通过该制备方法获得的BARC树脂分子量分布窄、性能稳定,尤其适用于193 nm深紫外光刻胶BARC的制备,有效改善光刻胶的图案分辨率和线宽粗糙度。
天眼查资料显示,宁波南大光电材料有限公司,成立于2018年,位于宁波市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本36733.19万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波南大光电材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目37次,专利信息157条,此外企业还拥有行政许可50个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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