国家知识产权局信息显示,浙江富乐德石英科技有限公司申请一项名为“一种半导体石英翅片舟的生产组装工艺”的专利,公开号CN122878006A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明属于半导体制造设备技术领域,尤其涉及一种半导体石英翅片舟的生产组装工艺。包括S1:翅片预处理,对石英翅片部品进行包括激光加工和退火在内的冷加工工序,并进行火加工精烧;S2:舟体本体成型,对石英舟体组件进行基准面研磨,并进行假接和焊接,以形成舟体本体;S3:精密组立与焊接,在洁净环境中,将多个S1得到的翅片按照预设间距分段组立于S2得到的舟体本体上,随后进行翅片焊接和整体精烧;S4:多阶段高精度清洗,对S3得到的翅片舟半成品依次进行脱脂洗净、硝酸洗净和氢氟酸洗净,以去除表面污染物,获得成品半导体石英翅片舟。本发明达到了实现翅片舟的高精度、高稳定性和高洁净度组装,从而提升半导体高温制程的良率并降低生产成本的效果。
天眼查资料显示,浙江富乐德石英科技有限公司,成立于2020年,位于衢州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本19511万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江富乐德石英科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目14次,专利信息158条,此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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