北京
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据天眼查显示，海纳股份申请的“单晶炉石英坩埚横向磁场强度分布测量度盘及测量方法”发明专利已于今年8月获授权。专利摘要介绍，该方案以被动式度盘替代多轴电机驱动装置，实现同心定位和磁极标定。
该公司申请的“一种基于多维量化模型的单晶硅拉制基准构建与源头误差补偿方法及系统”发明专利于今年9月公开。摘要介绍，该方案综合热场组件、物料及装配误差信息，在拉晶工艺执行前生成补偿参数，将质量控制前移至工艺启动环节。
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