国家知识产权局信息显示,西安稳能微电子科技有限公司申请一项名为“一种冷凝水质变化的加湿里前馈补偿方法及系统”的专利,公开号CN122884204A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种冷凝水质变化的加湿里前馈补偿方法及系统,涉及加湿控制技术领域。方法包括:采集冷凝水质数据与空间环境特征向量;基于冷凝水质特征数据提取水质扰动特征向量,并结合工艺环境特征向量解耦得到直接和间接加湿影响分量;构建加湿解耦前馈补偿模型,分别输入两类影响分量得到第一、第二前馈补偿数据;融合生成前馈补偿数据并对加湿单元补偿。解决了现有技术难以对冷凝水水质变化产生的直接与间接双重叠加影响进行有效分离和协同补偿,导致加湿控制精度不足、工艺环境稳定性差的技术问题,达到了通过双重影响分量解耦与前馈补偿融合实现温湿度精准协同控制,增强环境温湿度稳定性并保障光刻胶涂布均匀性的技术效果。
天眼查资料显示,西安稳能微电子科技有限公司,成立于2020年,位于西安市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1200万人民币。通过天眼查大数据分析,西安稳能微电子科技有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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