北京
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纳米级测量精度，稳定度做到 3σ＜3nm。这是华洋精机与蔡司联手交出的新设备参数。
中国台湾地区半导体设备制造商华洋精机本月5日宣布，携手 ZEISS（蔡司）推出 COSMA-M。这台设备瞄准的是光罩（掩膜）、先进封装、晶圆领域的高精度测量需求。
精度数字背后的门槛
先进制程对测量的要求越来越苛刻。COSMA-M 给出的答案是纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm，用来满足先进制程对高精度测量的严苛要求。结合配套模块，这台设备还能实现全自动化测量。
覆盖哪些场景
COSMA-M 的应用范围铺得不算窄：
- DUV 掩膜
- 先进封装
- TGV
- CPO
这些领域对测量精度的敏感度各不相同，但共同点是都卡在纳米级的门槛上。一台设备能否同时覆盖，考验的是底层测量架构的通用性。
目前 COSMA-M 已获得部分潜在客户的送样验证测试。从送样到量产导入，中间还有一段路要走，但至少参数已经摆上了台面。
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