国家知识产权局信息显示,浙江聚创新材料技术有限公司申请一项名为“一种具有防静电功能的晶圆搬运装置”的专利,公开号CN122872060A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本申请涉及一种具有防静电功能的晶圆搬运装置,属于半导体加工过程中晶圆片拾取技术领域,该具有防静电功能的晶圆搬运装置结构包括:包括机架以及固定连接于机架的工作台;工作台上设置有托夹组件,工作台下方的机架上设置有除尘组件;托夹组件包括晶圆夹、托夹除静电结构以及托夹运动结构;托夹运动结构设置在工作台上,晶圆夹设置在托夹运动结构上,托夹除静电结构包括驱动机构以及接地导电条,驱动机构的触发端设置于晶圆夹上,驱动机构的行动端固定连接于接地导电条,驱动机构用于驱动接地导电条滑出并与晶圆抵接;本申请具有全流程防静电,定点高效除尘的技术效果。
天眼查资料显示,浙江聚创新材料技术有限公司,成立于2022年,位于杭州市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江聚创新材料技术有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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