北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及晶圆的加工方法”的专利，公开号CN122872049A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请公开了一种半导体工艺设备及晶圆的加工方法，涉及半导体领域。一种半导体工艺设备，包括：多个工艺腔室、传输装置、多个传输工位和第一装载工位；多个传输工位与多个所述工艺腔室一一对应设置；所述传输装置包括多个晶舟，每个所述晶舟在多个所述传输工位与第一装载工位之间可移动，用于在多个传输工位之间传输晶圆，或者在所述传输工位与所述第一装载工位之间传输所述晶圆。本申请能够解决相关技术中双腔共用一套空置晶舟导致时序交错、浪费时间等问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1523次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5968条，此外企业还拥有行政许可338个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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