北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“离子注入设备及离子注入方法”的专利，公开号CN122868392A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请提供一种离子注入设备及离子注入方法，该离子注入设备包括离子注入腔，离子注入腔包括：束流产生器，用于发出离子束；轨道组，包括相互平行的第一轨道和第二轨道，第一轨道和第二轨道设置在离子束的出射方向上且垂直于离子束的出射方向，束流产生器到第一轨道的距离小于束流产生器到第二轨道的距离；第一载台，用于放置第一基板，第一载台可沿第一轨道运动以便于对第一基板进行离子注入；第二载台，用于放置第二基板，第二载台可沿垂直于第二轨道方向运动，第二载台在移动至与第一载台共面后，可沿第二轨道运动以便于第二基板进行离子注入。本申请可以提高离子注入的均一性。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4714条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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