北京
国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司申请一项名为“一种研磨速率控制方法及研磨设备”的专利，公开号CN122851469A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种研磨速率控制方法及研磨设备，涉及化学机械抛光技术领域；包括在所述研磨垫处于空闲状态的情况下，根据所述研磨垫的使用寿命阶段调节所述修整器对所述研磨垫的清洁压力，用于去除所述研磨垫上的研磨副产物以维持所述研磨垫的清洁程度，所述研磨垫的清洁程度与所述研磨头对所述晶圆的研磨速率相关联。本发明根据研磨垫的使用寿命阶段调节修整器对研磨垫的不同清洁压力，以更有效地清洁研磨垫缝隙中的研磨副产物，维持不同使用寿命阶段研磨垫表面的清洁程度稳定性，进而有利于维持研磨垫上晶圆的研磨速率稳定性。
天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息399条，此外企业还拥有行政许可28个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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