北京
国家知识产权局信息显示，重庆芯晖智能装备有限公司申请一项名为“一种基于工艺气体总流量动态控制掺杂气体的化学气相沉积方法及系统”的专利，公开号CN122856146A，申请日期为2026年9月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，且公开了一种基于工艺气体总流量动态控制掺杂气体的化学气相沉积方法及系统，包括以下步骤：S1、在PLC中预设掺杂气体流量与总工艺气体流量的目标关系函数；S2、启动化学气相沉积工艺，通入工艺气体和掺杂气体；S3、通过数据采集与计算单元，实时获取所有工艺气体质量流量控制器的读数，并计算得到瞬时总工艺气体流量Q_total；通过PLC实时采集所有工艺气体的总质量流量，并以此作为输入变量，利用内置的算法模型动态计算掺杂气体的流量设定值，能够实现掺杂气体与总工艺气体含量的精确配比，提高化学气相沉积工艺的稳定性和产品质量，减少因配比不准确导致的产品缺陷，降低废品率。
天眼查资料显示，重庆芯晖智能装备有限公司，成立于2023年，位于重庆市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，重庆芯晖智能装备有限公司参与招投标项目3次，专利信息29条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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