北京
国家知识产权局信息显示，珠海诚锋电子科技有限公司申请一项名为“一种基于光学成像的晶圆翘曲测量方法”的专利，公开号CN122858291A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体测量技术领域，公开了一种基于光学成像的晶圆翘曲测量方法。该方法包括获取晶圆表面多个测量点的显微镜物镜z轴坐标数据，形成初始高度数据集；做空间网格划分，生成含行列索引的网格化高度数据；基于相邻网格单元高度差异计算局部梯度变化量，标记超预设梯度阈值区域为异常梯度区域；在该区域周围建缓冲区，提取缓冲区内网格单元高度值做中值滤波；将滤波后高度值与原始高度值比较，生成高度修正数据集；根据其计算各测量点相对参考平面的偏离量，构建晶圆表面三维形貌模型；提取边缘区域翘曲特征参数，与预设规格阈值对比，生成翘曲状态评估结果。该方法可精准修正异常数据，全面呈现翘曲形态，适配多种半导体制造场景。
天眼查资料显示，珠海诚锋电子科技有限公司，成立于2015年，位于珠海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1576.6495万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海诚锋电子科技有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息79条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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