北京
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国家知识产权局信息显示，住友大阪水泥股份有限公司申请一项名为“静电卡盘装置”的专利，公开号CN122873351A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，一种静电卡盘装置，其具备：第1基板，其由介电材料形成并支承板状试样；第2基板；及静电吸附用电极，其被夹持在第1基板与第2基板之间，第1基板的相对介电常数为10以上，第1基板具有多个凸部，所述多个凸部从第1基板的上表面向上方突出地设置，并以上端支承板状试样，第1基板的上表面在俯视时从第1基板的内周侧连续至第1基板的外缘，多个凸部的俯视面积为第1基板的俯视面积的5%以下，在设想俯视凸部时的最小外接圆时，外接圆的直径为0.5mm以下，相邻的凸部彼此之间的间隔距离为外接圆的直径的20倍以上，从多个凸部中最接近第1基板的外缘的最外侧凸部至第1基板的外缘为止的距离比间隔距离短。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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